Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235174 à vendre en France
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ID: 9235174
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Dry etcher, 12"
Process: Metal
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un graveur/asher (également connu sous le nom de graveur plasma) conçu pour fournir un procédé très précis et rentable pour la micro-fabrication de divers matériaux. Il est capable de manipuler un large éventail de matériaux, y compris l'acier inoxydable, le tungstène, le cobalt, l'aluminium, le quartz et le silicium. Le système utilise une combinaison de la technologie de gravure par plasma, qui utilise un plasma à haute énergie pour éliminer le matériau de la surface de la plaquette, et un procédé de fraisage intégré, qui utilise une tête de machine spécialement conçue pour définir différentes formes. TEL SCCM Shin dispose d'une grande plaque, qui peut contenir une plaquette jusqu'à 200 millimètres de diamètre et 1,5 millimètre d'épaisseur. La plaque est ensuite fixée à une plaque inférieure qui est chauffée. Un système informatisé permet un contrôle précis du processus. Le processus de gravure est initié, et la plaquette est soumise à un champ magnétique pulsé généré par une inductance située dans la chambre de gravure. Cette force de champ interagit avec le plasma de charge, créant un motif de gravure focalisé sur la surface de la plaquette. La chambre de gravure est équipée de plusieurs dispositifs de sécurité, dont un vide interne, un gaz azoté et un vide profond. Comme le processus de gravure du plasma est en cours, la plaquette est surveillée avec des capteurs visuels et infrarouges pour s'assurer que le processus de gravure est uniforme. Une fois le procédé de gravure terminé, on procède alors à un broyage spécial. Le fraisage est réalisé à l'aide d'une tête de fraisage spécialisée qui tourne à des vitesses élevées, coupant la plaquette selon des contours prédéterminés. Le procédé de fraisage est utilisé pour créer des canaux ou d'autres caractéristiques dans la plaquette. Enfin, la pièce est prête à être inspectée et emballée. Le processus d'inspection est effectué au microscope spécialisé, qui permet d'identifier les fissures, les rayures et autres imperfections du produit final. Si l'un de ces problèmes est détecté, ils peuvent être corrigés avant l'expédition. La pièce peut alors être emballée et expédiée vers sa destination finale. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un système fiable et rentable pour les processus de micro-fabrication. Il est conçu pour fournir un haut degré de précision et de précision, tout en étant facile à utiliser et à entretenir. De plus, ses caractéristiques de sécurité intégrées garantissent que le processus est mené dans un environnement sûr et contrôlé.
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