Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235178 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un graveur/asher de haute performance conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute technologie. Il supporte une large gamme de tailles de plaquettes (allant de 5 "à 150 mm) et est capable de répondre aux exigences des processus de gravure sèche et humide, fournissant des résultats rapides et fiables. L'équipement est conçu pour être compact et facile à utiliser, avec un écran tactile couleur. Il a une architecture modulaire, ce qui le rend simple à adapter et étendre le système aux besoins changeants des clients. Il est équipé d'un large éventail de chambres de procédés et de conduites de gaz internes, ce qui lui permet d'être facilement configuré avec des recettes de gravure en une ou plusieurs étapes. TEL SCCM Shin est en outre équipé d'une unité de nettoyage de chambre basée sur le principe réactif Ion Etch (RIE). Cette machine utilise un faisceau de plasma fortement accéléré composé de gaz comprimés pour éliminer efficacement la contamination de l'intérieur des chambres sans compromettre la surface structurée de la plaquette. L'outil dispose également d'une grande variété d'options telles qu'un moniteur thermocouple pour contrôler les températures de processus, un détecteur CP-MS pour la détection des niveaux de particules, et un micromètre à haute sensibilité pour mesurer avec précision l'épaisseur de la plaquette in situ. En outre, il peut être configuré avec des structures spéciales de chauffage et de refroidissement pour un contrôle optimisé des processus. TOKYO ELECTRON SCCM Shin est capable de fournir une grande uniformité sur un large éventail de processus, y compris la gravure à base de HF, CMP, gravure à couches minces et gravure ionique réactive. Il est très fiable et efficace, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de technologie avancée.