Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9261824 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un équipement de graveur-asher utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs et de semi-conducteurs composés. Il est conçu pour contrôler avec précision le dépôt et la gravure de couches métalliques minces, et est idéal pour couper des formes complexes et créer diverses nanostructures. Ce système etcher/asher est idéal pour toute une gamme d'applications de recherche, telles que la micro- et nano-électronique, la microfluidique, la photovoltaïque, l'optoélectronique et la biologie. TEL SCCM Shin est une unité de graveur/asher à gaz comprenant une tête de douche avec plusieurs entrées de gaz et une machine de commande précise. Ses principaux composants sont la tête de douche, la chambre de gravure à température contrôlée, les conduites d'entrée et un outil à gaz sec et éjecteur. La tête de douche est constituée de multiples entrées de gaz dans lesquelles différents gaz peuvent être introduits pour être gravés ou aspergés à des températures différentes, assurant ainsi un contrôle précis de la température. La tête de douche est entourée d'une chambre à atmosphère inerte pour éviter toute réaction entre le substrat et le gaz. La chambre de gravure à température contrôlée est conçue pour assurer une excellente uniformité et stabilité. Il est équipé de lignes d'entrée qui permettent l'introduction de divers gaz, permettant à l'graveur/asher de fournir une large gamme d'effets de gravure et Ashing. L'actif etcher/asher comprend également un modèle de gazage à sec (DGS) et un équipement d'éjection (ES). Le DGS est conçu pour déposer rapidement des couches métalliques sur le substrat, et dispose d'électrodes en quartz et en tungstène, avec la possibilité d'utiliser jusqu'à quatre électrodes. L'ES est utilisé pour la gravure de couches minces, et permet la gravure fine-cible et la gravure par faisceau ionique. Il est équipé d'un générateur haute fréquence, d'un pistolet de gravure et d'un porte-substrat. TOKYO ELECTRON SCCM Le système Shin etcher/asher est capable de graver et de déposer des couches métalliques avec une grande précision et une excellente uniformité. Il peut également être utilisé pour la fabrication de divers substrats avec des caractéristiques de gravure de haute précision. Cette unité est extrêmement polyvalente et peut être utilisée pour diverses applications, ce qui en fait un choix idéal pour les chercheurs dans les applications de fabrication de semi-conducteurs et de semi-conducteurs composés.