Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409053 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un graveur ou asher avancé qui fournit des capacités sophistiquées de gravure et d'ashing sur place pour les laboratoires et les établissements de recherche. L'équipement est conçu pour fournir un processus de gravure précis et reproductible qui peut être utilisé pour une variété d'applications dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TEL SCCM Shin est équipé d'une large gamme de caractéristiques pour la précision et la fiabilité. Le système dispose d'une plate-forme de chauffage contrôlable qui permet un contrôle précis de la température et de l'atmosphère des substrats, ainsi qu'un accès facile aux substrats de chargement. Il dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui permet le paramétrage rapide et la surveillance des processus. Une unité avancée de contrôle des processus (ACS) permet un contrôle précis des processus de gravure et de paramétrage, compatible avec les processus de gravure humide et sèche. En outre, TOKYO ELECTRON SCCM Shin dispose d'une machine à flux de gaz automatique qui facilite le chargement du gaz, éliminant les erreurs de pression et de température. Cet outil est également équipé d'une unité de refroidissement qui assure un refroidissement optimal de la chambre de gravure et de son environnement. Le débit de gaz et les systèmes de refroidissement sont contrôlés par des contrôleurs indépendants en boucle fermée qui assurent un contrôle précis de la température et de la pression. Pour l'automatisation, l'actif supporte plusieurs (jusqu'à dix) réactions sur jusqu'à trois verrous de charge distincts. Le modèle offre également une mesure in situ de la vitesse de gravure, utilisant l'interférométrie laser pour mesurer la profondeur de gravure en trois points par échantillon. Cela fournit une rétroaction en temps réel exacte pour le contrôle des processus de gravure. De plus, l'équipement comporte un détecteur de résidu/recristallisation in situ qui permet de surveiller in situ la vitesse de gravure et de détecter tout résidu ou recristallisation lors de la gravure. SCCM Shin est un système de graveur/asher vertical à chambre unique, conçu pour le rendement des processus et la fiabilité. Il offre un excellent contrôle des processus, flexibilité et automatisation, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de gravure et de cendrage.