Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409127 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin est un équipement de graveur et asher qui est utilisé dans de nombreuses industries et installations. Ce système est utilisé dans la production et la gravure de dispositifs à couches minces, de couches minces et d'autres matériaux liés aux plaquettes. Elle se caractérise par sa grande précision, ses faibles dépenses en électricité et sa faible production de déchets. Il est bien adapté pour être utilisé dans les procédés de dépôt de semi-conducteurs, micromachinage, photomasque et autres couches minces où la couche mince doit être gravée ou cendrée à haute température. Le processus de gravure/cueillette commence par la mise en place du film mince dans l'unité TEL SCCM Shin etcher/asher. Cette machine est constituée d'une chambre de réacteur qui est équipée d'un dispositif d'entrée, de sortie et de gaz interne pour contrôler le gaz et la température dans la chambre. La couche mince est ensuite exposée à un mélange d'oxygène, d'azote et d'autres gaz à des températures de 400 à 500 degrés Celsius. L'énergie est ensuite fournie à la chambre de réaction de l'outil tandis que la source de rayons X est utilisée pour graver sélectivement la couche de couche mince. Le processus de gravure et de cendrage est extrêmement contrôlé et précis, avec un minimum d'endommagement du substrat et d'amincissement des couches minces. La couche de film mince peut atteindre 15-20 mm d'épaisseur, mais il est possible de graver des couches plus minces avec TOKYO ELECTRON SCCM Shin aussi bien. En outre, cet actif peut graver une variété de topologies, telles que la gravure par couche uniforme, la gravure par couche étagée ou la gravure multicouche. Le modèle dispose de deux types de support de plaquettes, manuel et automatique. Le support de plaquette manuelle permet à l'utilisateur de placer manuellement le film mince dans l'équipement de graveur. D'autre part, le support de plaquette automatique permet à l'ordinateur de contrôle d'alimenter automatiquement le film mince dans l'graveur. En outre, le système est équipé d'une variété de dispositifs de sécurité tels que la protection contre la température, la protection contre la pression et la surveillance du carbone. En outre, l'unité est également livré avec une variété de fonctionnalités opérationnelles telles qu'un mode de recette automatisé, interface utilisateur, et journal de processus. Avec sa grande précision, ses faibles dépenses de puissance et sa faible production de déchets, SCCM Shin Etcher/Asher est la machine parfaite pour la gravure de précision et la cueillette de films minces.