Occasion TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9206140 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE est un équipement monobloc graveur/asher conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système fournit une source unique pour les procédés avancés de gravure/ashing pour MEMS, fabrication multiple de plaquettes, MEMS/MMIC/Compound Semiconductor device fabrication. Il offre un contrôle de procédé supérieur et des résultats de gravure uniformes et une uniformité des revêtements diélectriques conformes. L'unité dispose d'un contrôle automatique des processus, d'une surveillance in situ en boucle fermée et d'un contrôle séquentiel Pattern Generator pour améliorer le débit des plaquettes. TEL SCCM TE est conçu pour fournir des performances supérieures de traitement du plasma et comprend ICP SiO₂ gravure, gravure HCl, gaz réactifs O₂/Ar et une capacité de polissage chimique-mécanique des plaquettes (CMP). La machine est précise et répétable, et est équipée d'outils avancés tels qu'une distance de commutation haute résolution (HRSD) et un outil de planarisation pour la planification et la commande de gravure, un actif de rotation de la plaquette, une alimentation RF avancée et inversée et un contrôle de la pression du réservoir en temps réel pour améliorer la protection contre les pointes de plasma. De plus, le modèle comprend une unité de chauffage par pulvérisation et un équipement d'auto-nettoyage innovant pour aider à réduire l'impact de la contamination sur la topographie de surface. TOKYO ELECTRON SCCM-TE est équipé d'un bouclier Faraday in-situ, permettant au système de traiter TEL propre ligne de plaquettes chargées de résiste, permettant l'intégration multi-processus à travers différentes étapes de gravure/cueillette. L'unité fournit également une large gamme de paramètres de traitement personnalisables tels que les paramètres de gravure, la précision d'alignement, la gravure diélectrique, les motifs de substrat et les recettes de processus pour permettre une production haute performance et à haut rendement. De plus, SCCM-TE offre des capacités d'automatisation avancées telles que la gestion multi-recettes, le contrôle de l'instrumentation sur PC, le suivi des plaquettes, la gestion des données GDS/GDSII et un moniteur de contrôle de la qualité. La machine est conçue pour une utilisation 24/7 et offre une vitesse et une fiabilité supérieures. L'autodiagnostic intégré, la connectivité à distance et la facilité d'entretien font de cet outil un choix idéal pour les applications intensives en processus. L'ingénierie innovante de l'actif est combinée avec des matériaux de haute qualité pour des performances fiables dans des conditions exigeantes. L'utilisation de chambres soudées scellées sous vide, de systèmes à gaz de haute pureté et d'autres composants avancés garantit une excellente répétabilité et une stabilité à long terme. TEL SCCM-TE offre le plus haut niveau de performance et de facilité d'utilisation pour les applications semi-conductrices de recherche et de production.