Occasion TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9038420 à vendre en France
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ID: 9038420
SCCM Shin etchers, 12"
(4) Load ports
Type of carrier: Foup 25 Wafers
Process: Oxide Etch
Wafer type: 300mm V notch.
Wafer mapping: Yes
FFU(ULPA Filter): >99.9999% 0.12um
Process kit: Shin Kit
Chuck: Ceramic ESC
Generator: Daihan MGA50E , AGA 50B2
Slow & Fast pumping: Yes
Gasline piping type: ARDC
MFC: Unit 8561
MFC Type: Anlog/Digital MFC
MFC control mode: Analog control
Chiller: FST HC308136
Power Line 1:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 140 A
Ampere rating of largest load: 120 A
Power Line 2:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 130 A
Ampere rating of largest load: 110 A
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS Etcher/Asher est un outil de procédé de gravure/cendres haute performance qui offre une précision exceptionnelle et des capacités de processus avancées. Cet équipement est utilisé pour produire des films minces et d'autres matériaux dans des procédés tels que la fabrication de semi-conducteurs et les écrans OLED. TEL T-3055SS est une plate-forme de processus de gravure/cendres entièrement automatisée qui offre des options de personnalisation exceptionnelles et un contrôle précis du processus de gravure/cendres. La machine offre des temps de gravure/cycle de cendres rapides et de haute précision allant jusqu'à 9 secondes selon le matériau et les paramètres du processus. TOKYO ELECTRON T-3055SS est équipé d'un système d'électrodes unique pour la gravure et le cendrage qui garantit un taux de précision plus élevé que les techniques traditionnelles de gravure et de cendrage. L'électrode fonctionne avec deux chauffages internes et une buse réglable capable de maintenir une température constante pendant le processus de gravure et de cueillette. Cela permet un contrôle efficace et précis du processus de gravure/cendres pour les couches minces et d'autres matériaux. La machine est également équipée d'une machine de vision intégrée qui permet le réglage automatique des paramètres du processus de gravure/cendres. T-3055SS est conçu pour faciliter et faciliter l'exécution de divers processus. L'interface graphique intuitive permet aux utilisateurs de configurer, surveiller et contrôler le processus gravure/cendres rapidement et avec un minimum d'effort. La machine dispose également d'un verrouillage de charge en option pour automatiser le chargement et le déchargement des échantillons. Cela permet à plusieurs processus simultanés d'avoir lieu. TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS est un outil de gravure/cendres fiable pour une production à haut volume. Il est disponible avec un large éventail de processus et de paquets d'options qui peuvent être personnalisés pour répondre à tous les besoins spécifiques. Un processus intégré de surveillance des actifs enregistre toutes les données du programme, du processus et de l'appareil, fournissant aux utilisateurs une analyse à plus long terme et l'optimisation des processus. De plus, TEL T-3055SS dispose d'un modèle d'exploitation sûr et fiable qui garantit des performances stables et des niveaux élevés de sécurité et de fiabilité. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON T-3055SS est un excellent choix pour les entreprises qui cherchent à maximiser la précision et l'efficacité du processus de gravure/cendres. Il offre des capacités d'automatisation et de personnalisation exceptionnelles tout en fournissant une interface conviviale et des performances fiables.
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