Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM (Super Chemical Control Machine) est un graveur/asher utilisé pour la gravure profonde, la finition et le contrôle de profil pour diverses applications de métallisation. Il s'agit d'un outil de procédé semi-conducteur conçu pour fournir une planarisation de niveau de substrat supérieur avec des dommages minimes au substrat. TEL Tactras SCCM a une conception compacte qui offre une capacité de processus maximale, et des capacités de gestion de contrôle améliorées. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive pour un fonctionnement facile, offrant un débit amélioré avec un traitement et une surveillance automatiques. Le graveur-asher comporte trois étages de planarisation automatique, qui comprennent un étage de gravure humide, un étage de tamponnage, et un étage de planarisation de substrat. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM offre également une fonction « double gravure » pour contrôler les profondeurs de gravure ainsi que les types de profil avec sa strate d'huile avancée. Tactras SCCM est équipé d'un système de contrôle avancé, qui intègre des fonctions telles que la gravure automatique, l'épuisement et la pulvérisation à partir d'un seul module de contrôle. Ce module de contrôle assure le fonctionnement synchrone de l'graveur/asher, et peut être utilisé pour améliorer la précision et la cohérence du processus de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM est également équipé d'une unité de commande tactile pour une plus grande facilité d'utilisation, et peut être connecté à un ensemble de systèmes de surveillance et de contrôle. Il offre également une fonction de surveillance à distance, permettant de surveiller et de contrôler l'appareil depuis un endroit distant. TEL Tactras SCCM etcher/asher a également diverses capacités de pulvérisation, y compris les couches minces, la pulvérisation chimique, la pulvérisation par oxyde et l'extraction d'ions inverses. L'évaporateur intégré au faisceau d'électrons permet un dépôt rapide, efficace et uniforme de couches minces. De plus, le sensorex tactile et le manipulateur permettent un contrôle précis de la position et de la vitesse du substrat. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM est un graveur/asher tout-en-un, idéal pour la production de haute capacité et l'optimisation des processus. Il offre des opérations de gravure/pulvérisation/épuisement de précision, ainsi qu'une gamme complète de fonctionnalités d'automatisation. La conception efficace et conviviale garantit une meilleure productivité avec des résultats exceptionnels.
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