Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vesta #9225714 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta est un équipement de gravure/cueillette de pointe conçu pour être utilisé dans divers procédés avancés. Ses capacités de gravure sèche ultra-fine offrent des caractéristiques de haute résolution et de plus petites tailles jusqu'à 10nm, tandis que les capacités de cendrage offrent des performances de gravure supérieures et une consommation minimale de lisier. TEL Tactras Vesta peut être mis en œuvre pour traiter un large éventail de matériaux, y compris des films standard Si, SiN, SiO2 et SiON, ainsi que des diélectriques à haut k et une synthèse de matériaux avancée. Le système dispose d'un contrôle à double entrée de gaz pour un contrôle précis de la dose et une uniformité de processus. Il comprend également une unité de détection avancée pour un contrôle précis de la profondeur de gravure en temps réel afin d'assurer des résultats précis. TOKYO ELECTRON L'unité de gravure Tactras Vesta utilise une combinaison de résonance cyclotron électronique (ECR) et de plasma RF latéral (LRF). Le plasma ECR est utilisé pour la gravure profonde, tandis que le plasma LRF est utilisé pour effectuer la gravure en vrac. Tactras Vesta est équipé d'un mur de chambre programmable pour optimiser le processus de gravure. La paroi de la chambre peut être configurée de manière à offrir un environnement de réaction optimal pour chaque matériau traité à l'intérieur de la machine. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta dispose également d'hydrogène, de chlore et de gaz pulvérisateurs, ce qui lui permet de traiter une grande variété de surfaces et de procédés. De plus, le générateur RF stationnaire de 500 watts de l'outil est utilisé pour effectuer une gravure sèche à des températures de processus plus élevées. Cela permet également à TEL Tactras Vesta d'éliminer le besoin d'un processus de gravure humide. TOKYO ELECTRON Tactras Vesta est un atout hautement intégré offrant un contrôle avancé des processus, une haute résolution et une haute uniformité des processus. En outre, son mur de chambre programmable permet un contrôle complet du processus et la précision. Cela fait de Tactras Vesta une solution idéale pour le prototypage rapide des structures et des dispositifs avancés.