Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 #9284628 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 est une machine de gravure avancée conçue pour graver des motifs sur des substrats semi-conducteurs. Le graveur est adapté à un large éventail d'applications, y compris les circuits de haute précision pour Airwrap™ processus d'épargne d'air, une technologie innovante qui aide à améliorer la qualité et le rendement de gravure. TEL Tactras Vigus-0 est un graveur haut de gamme avec une conception à 9 cellules, permettant d'exécuter plusieurs processus de gravure simultanément. La machine est équipée avec le matériel avancé et implique l'utilisation de haute pureté le gaz de gravure à l'eau forte de CoF2. Il comporte une chambre de serrure de charge, une chambre d'expansion de plaquettes et une source de dépôt chimique en phase vapeur. La chambre de gravure peut accueillir jusqu'à 30 plaquettes à la fois. L'graveur dispose également de deux sources de plasma et de trois étages de chauffage de plaquettes, qui permettent de supporter une large gamme de techniques de gravure. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus-0 est équipé d'une commande d'étage de haute précision et d'une capacité d'usinage à grande vitesse, ce qui peut améliorer le temps de cycle de gravure. Il est également équipé d'un équipement de surveillance en temps réel pour détecter les premiers signes de variation des gravures. Le système permet des réglages précis lors des processus de gravure, ce qui peut aider à réduire le temps de gravure et améliorer la précision globale de gravure. L'etcher dispose d'une unité de contrôle des gaz avancée, qui permet d'assurer un flux constant de gaz de gravure, tout en minimisant le risque d'impuretés entrant dans le processus. Il est également équipé d'une variété de sources de plasma et de gaz de gravure, qui permettent d'optimiser le profil de gravure, la répétabilité et la sélectivité. En outre, la machine intègre un certain nombre de caractéristiques de sécurité et de maintenance, y compris la détection de fuites de haute précision, le verrouillage de sécurité et la surveillance de la puissance, qui protègent l'graveur et ses utilisateurs. Tactras Vigus-0 est un graveur avancé adapté à une variété de procédés de gravure complexes dans l'industrie des semi-conducteurs. Le graveur est conçu pour offrir une qualité de gravure, une précision et une répétabilité supérieures, tout en respectant des normes de sécurité et de fiabilité rigoureuses. L'etcher est hautement configurable et évolutif, et peut accueillir un large éventail de techniques de gravure avec un taux de succès élevé.
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