Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus ATCC #293819984 à vendre en France
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ID: 293819984
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2014
Reactive Ion Etcher (RIE), 12"
Process: MHM Trench
Nitrogen purge storage
Controller
YASKAWA XURC845M-C00 Loader module
(3) FOUPs
(6) VIGUS Ix BSP chambers
No TM Robot controller
No PM1 TMP Controller
No PM1 Lifter pin driver
2014 vintage.
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