Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+ #293649539 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3+
ID: 293649539
Etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 + est un graveur/asher avancé conçu pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Cet etcher sophistiqué dispose d'une chambre de traitement chauffée de recirculation multidirectionnelle, permettant de traiter plusieurs plaquettes en une seule étape de procédé. Par rapport aux systèmes de gravure concurrents, le Tactras Vigus LK3 + offre jusqu'à 30 % de vitesse de gravure et de contrôle dimensionnel améliorés. TEL Tactras Vigus LK3 + est construit avec un équipement d'automatisation haut de gamme, permettant une précision de traitement et une reproductibilité améliorées. L'outil dispose également d'un système de nettoyage automatique robuste, permettant aux opérateurs de réduire la quantité totale de nettoyage manuel et d'améliorer la fiabilité de l'unité. Cette machine est capable de calibrer automatiquement les capteurs et une gamme de surveillance des processus, donnant aux utilisateurs un meilleur contrôle des processus. L'interface utilisateur graphique (UI) conviviale de TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 + simplifie le processus de gravure en fournissant des affichages graphiques et des paramètres de processus faciles à comprendre. Cette interface graphique permet à l'utilisateur de définir facilement les conditions de processus, les recettes de gravure et le dépannage en temps réel. De plus, grâce à son mode de collecte de données, les utilisateurs peuvent accéder aux données pertinentes et les stocker, ce qui permet une meilleure gestion des processus. Tactras Vigus LK3 + offre une flexibilité du spectre, permettant aux utilisateurs de personnaliser la vitesse de gravure et les paramètres de traitement pour différents matériaux de substrat. Grâce à la chambre de traitement chauffée multidirectionnelle de recirculation, les plaquettes sont exposées à une pression et une température égales tout au long du processus de gravure. Il en résulte une meilleure homogénéité des bords ainsi qu'une diminution des niveaux de contraintes, notamment lors de la gravure des substrats de faible k. De plus, la faible génération de particules de l'outil garantit une qualité exceptionnelle de plaquette. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 + est un choix idéal pour ceux qui recherchent un actif de gravure fiable et cohérent. Cette machine robuste comprend une gamme de fonctionnalités innovantes, allant de l'amélioration de la vitesse de gravure et du contrôle dimensionnel, l'automatisation sophistiquée, les capacités de surveillance des processus, la flexibilité du spectre et la faible génération de particules. Que vous soyez une petite entreprise de conception IC ou un fabricant à grande échelle, TEL Tactras Vigus LK3 + est la solution parfaite pour vos besoins de traitement de plaquettes semi-conductrices.
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