Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9312750 à vendre en France
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Vendu
ID: 9312750
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
Oxide etcher, 12"
Loader module 2.0
(3) Nitrogen purged load ports
(2) Chambers
(2) ATCC MP,120°
(16) Gas lines
(4) ATS 60 SE Chillers
(2) TEL / TOKYO ELECTRON Power racks
(2) EBARA ESV 300 Pumps
Advanced purge station
VTM / LLM Pump
Carrier ID reader for load ports
S-RDC
Syncronized pulse
FC2 Chamber
Large turbo pump (Non-heated)
C5K Endpoint detection system
Fast Flow Measurement System (FFMS)
SMIF
Handler
Gas:
Line / Gas
1 / H2
2, 13 / C4F8
3 / NF3
4 / CH4
5 / CH2F2
6 / CHF3
7, 16 / CF4
8, 14 / N2
9, 15 / O2
10 / CO
11 / CO2
12 / Ar
CE Marked
Does not include chillers
2017 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 est un graveur/asher utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. C'est un équipement à chambre unique qui a été conçu pour des applications de traitement par lots dans la fabrication de plaquettes. TEL Tactras Vigus LK3 est un graveur entièrement automatisé qui peut traiter jusqu'à 150 plaquettes en une seule fois. Il est équipé de deux sources indépendantes d'acide fluorhydrique dilué (DHF) pour assurer un contrôle précis de la profondeur de gravure des surfaces de plaquettes souhaitées. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 a intégré un design unique de porte-plaquettes dans sa chambre de graveur pour offrir une stabilité maximale de chargement des plaquettes et un temps de traitement uniforme sur toutes les plaquettes. Il utilise un système de convoyeur dédié et une chambre de traitement pour améliorer la précision et la fiabilité des gravures. L'unité est capable d'un contrôle de haute précision à l'aide d'un contrôleur de processus avancé et d'un logiciel très sophistiqué. Le LK3 est compatible avec différents types de plaquettes telles que le silicium, l'aluminium, le cuivre et d'autres matériaux. En outre, la machine est capable de supporter plusieurs recettes de gravure et permet ainsi des changements rapides et l'optimisation des processus. Tactras Vigus LK3 est conçu avec une construction mécanique robuste pour assurer sa longévité et sa fiabilité pendant de nombreuses années d'utilisation. Le boîtier durable est résistant à la corrosion et a été conçu pour résister à l'exposition aux solvants et aux agents de nettoyage chimique. L'outil est également équipé d'une interface tactile intuitive et conviviale qui permet aux opérateurs de visualiser et d'ajuster les paramètres de gravure rapidement et facilement. En outre, l'interface utilisateur avancée offre également des fonctionnalités de service et de maintenance robustes avec des diagnostics à distance et des capacités d'enregistrement de données en temps réel. Cet actif est conçu en tenant compte de la sécurité et offre plusieurs niveaux de protection pour la sécurité des opérateurs. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 etcher est conçu pour répondre à toutes les normes de sécurité internationales, y compris NFPA 79 et CENELEC EN 60079-11. Il offre également une gamme de fonctions de sécurité, telles qu'un modèle de verrouillage séparé, un bouton d'arrêt d'urgence et des limiteurs de bruit. TEL Tactras Vigus LK3 peut être utilisé par les techniciens pour graver avec précision et précision différents types de plaquettes. Il est idéal pour une utilisation dans de nombreuses applications liées aux semi-conducteurs.
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