Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649549 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 est un graveur/asher conçu pour créer des modèles 3D sur une gamme de substrats, tels que les plaquettes de silicium, la céramique et le verre. Ce graveur/asher avancé dispose d'un équipement de modélisation précis utilisant un étage motorisé et une optique laser de haute précision pour fournir un motif constamment de haute précision. Avec une combinaison unique d'optiques, de lasers et d'un système de commande de mouvement, TEL Tactras Vigus RK3 est capable de créer des modèles 3D complexes avec la plus grande précision et la plus grande répétabilité. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 est équipé d'une unité robuste de commande de mouvement 8 axes qui permet une micro-structuration complexe avec un haut degré de fiabilité. De plus, cette machine fournit une interface de communication en boucle fermée pour interfacer avec des équipements externes, tels que des programmes de conception assistée par ordinateur (CAO). En outre, cet outil fournit un mode de fonctionnement convivial complet qui permet des changements de paramètres faciles et une configuration rapide. Tactras Vigus RK3 utilise un laser programmable 3D avancé capable d'obtenir une précision de sous-microns avec son taux de répétition élevé et sa largeur d'impulsion. Ce laser est alimenté par un miroir galvanomètre qui dirige la lumière sur le substrat pour une gravure de précision. De plus, le graveur/asher est équipé d'un outil de contrôle de balayage automatisé qui positionne avec précision le laser pour un marquage de haute précision. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 dispose également d'un modèle de génération de plasma intégré, conçu pour fournir un environnement plasma à basse température afin de réduire la température du substrat pendant sa gravure. Cet équipement de génération de plasma est capable d'atteindre une température plasmatique inférieure à 500 ° C et fournit un procédé de fixation plus uniforme. Enfin, TEL Tactras Vigus RK3 est conçu avec un système de contrôle en boucle fermée qui surveille en continu chacun des paramètres de l'appareil, tels que le courant, la température, la pression du gaz et la puissance laser. Cette machine de commande fournit une rétroaction immédiate sur l'état du processus de gravure, permettant des réglages rapides et précis. En conséquence, cet outil garantit une gravure de haute précision constante pour une grande variété d'applications.
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