Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 #293649553 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 est un graveur/asher conçu pour le traitement de matériaux avancés au niveau de 115nm (0,1 μ m). Sa technologie de gravure sans produit chimique à base de plasma permet la fabrication de différentes structures, y compris des tranchées, des trous de contact ou par des trous, dans les matériaux ultra-fins. Cette technologie de gravure avancée a amélioré les performances des procédés de gravure dans l'industrie des semi-conducteurs. TEL Tactras Vigus RK3 etcher/asher dispose d'un système de compensation des processus actifs (APC) haute précision et haute résolution pour le contrôle des processus. Cette fonctionnalité permet des processus de gravure stables et hautement reproductibles. De plus, la vitesse de traitement est très efficace grâce au système de refroidissement actif intégré. La chambre de procédé est conçue avec des zones séparées pour le traitement du plasma et le chargement des matériaux, et est capable de divers processus de gravure. En outre, TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK3 est livré avec une base de données de recettes élargie et un ensemble de fonctionnalités. Ce graveur/asher permet de choisir des paramètres de gravure optimaux avec la possibilité de créer des recettes de gravure personnalisées. En outre, la base de données sur l'état des processus permet d'enregistrer, d'analyser et d'afficher les résultats des processus en temps réel, donnant aux ingénieurs des outils puissants pour optimiser et contrôler leurs processus. Tactras Vigus RK3 etcher/asher est une solution idéale pour la gravure haute résolution des matériaux à l'échelle nanométrique, offrant des avantages importants en termes de rentabilité et de performance. Il est capable de fournir une qualité exceptionnelle même dans les applications de gravure les plus exigeantes, assurant aux fabricants de dispositifs semi-conducteurs des produits à haut rendement et sans défaut.