Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649558 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 est un Etcher/Asher conçu pour traiter les applications de gravure et de cendrage liquide et sous vide. Il s'agit d'un équipement de gravure et de cendrage haute performance conçu pour offrir une répétabilité des processus, d'excellentes performances d'imagerie et un débit élevé. Il est adapté à un large éventail d'applications, y compris le traitement multicouche des semi-conducteurs. TEL Tactras Vigus RK4 utilise une conception à trois chambres, et est capable de multiples opérations de gravure/cendres en même temps. La chambre principale de gravure/cendres est un grand environnement clos isolé pour une contamination minimale. La capacité de la chambre est un maximum de 1080 litres et a une plage de pression comprise entre 75 et 150 Torr. Une chambre de procédé sèche indépendante est également incluse pour les procédés de gravure anhydre tels que la gravure CF4 et la gravure SFE. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 comprend plusieurs sources pour les gaz de procédé, qui comprennent le fluorure d'hydrogène (HF), le trifluorure de chlore (CF4) et le SF6 pour obtenir des taux élevés de sélectivité de gravure et des résidus plus faibles. Un mandrin électrostatique à paroi froide (ESC) est inclus pour assurer la compatibilité avec les dispositifs avancés. Le système électrique est indépendant et a une large gamme de puissance de 0.05kW à 50kW. Il dispose également d'une grande fiabilité, avec une chaîne de puissance d'antenne RF et une machine embarquée de surveillance des processus. Tactras Vigus RK4 a plusieurs processus différents qui peuvent être sélectionnés, y compris la gravure profonde réactive gravée (DRIE), la gravure isotrope, la gravure anisotrope, le cendrage et plus encore. L'Etcher/Asher dispose également d'un régulateur de température polyvalent avec une plage de température maximale de 500 ° C permettant à l'opérateur de personnaliser chaque procédé. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 supporte de multiples mécanismes d'échange de chargement et de déchargement, tels qu'un robot de navette ou un outil cassette-à-cassette. Il est également équipé d'un outil de nettoyage humide pour une finition de surface lisse, et a un niveau de protection IPPC de 5. L'ensemble du modèle est fabriqué avec un fonctionnement rapide, permettant un excellent processus de polissage mécanique chimique et un cycle rapide pour diverses recettes de gravure/cendres.