Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818565 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus est un graveur ou « cendres » utilisé pour toute une série de procédés, y compris le dépôt, les pulvérisateurs, les CVD, le décollage, la planarisation et la mise à feu. Cet outil utilise une technique d'implantation ionique pour déposer jusqu'à 55 nm d'épaisseur de couches de matériau avec une grande précision. Il offre une uniformité de topographie de gravure sur le substrat et peut également être utilisé pour effectuer des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD). Le procédé de gravure est réalisé par implantation ionique et pulvérisation, tandis que le procédé CVD est réalisé par introduction d'un ingrédient en phase gazeuse sur le substrat. TEL Tactras Vigus etcher est équipé d'un ensemble de composants avancés, dont une cathode, un support de substrat, un micro-ondes RF, un système de refroidissement de substrat et un mécanisme d'injection de gaz. La cathode crée une décharge électrique qui sert à graver le silicium, tandis que le porte-substrat peut contenir des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre. Le micro-ondes RF de grande puissance, qui a une gamme de fréquences de 1,8 à 38,5 GHz, est utilisé pour créer un plasma haute température et haute tension pour le processus de gravure. Le système de refroidissement du substrat maintient les températures des substrats entre 5 et 40 degrés Celsius, assurant ainsi la sécurité des processus de dépôt et de gravure. Enfin, le mécanisme d'injection de gaz est utilisé pour contrôler la vitesse de gravure, la pression et la composition chimique, ainsi que le débit de gaz. L'un des principaux avantages de TOKYO ELECTRON Tactras Vigus etcher est sa capacité à graver avec précision jusqu'à 55nm, même sur des surfaces poreuses comme le graphite et les alliages spinodaux. De plus, l'outil peut facilement être intégré à l'équipement existant et peut être utilisé en salle blanche ou en plein air. De plus, grâce à son équipement de gravure haute vitesse et haute vitesse à basse pression, le processus de gravure peut être réalisé rapidement et avec précision. En conséquence, Tactras Vigus etcher est adapté à un large éventail d'applications, y compris la production, la recherche et le développement.