Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9304349 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras est un graveur/asher de nouvelle génération conçu pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices. C'est une solution rentable qui peut effectuer à la fois des processus de gravure et de strippage. Cette machine dispose d'un équipement propriétaire de contrôle des processus utilisant des algorithmes avancés d'optimisation des motifs et plusieurs fonctionnalités de métrologie. La machine dispose d'un moteur à entraînement direct haute vitesse et haute performance qui permet une précision de positionnement rapide. Avec son système d'asservissement à haute vitesse en nanoseconde, TEL Tactras est capable de graver des caractéristiques jusqu'à 80 nm, ce qui permet de modeler ultra-finement la surface d'une plaquette. TOKYO ELECTRON Tactras réalise une gravure et un strippage précis en contrôlant les paramètres du procédé tels que la température, la pression, le débit et la puissance. Pour assurer la stabilité du procédé, il intègre un moniteur de débit de gaz, une unité de contrôle de la température des plaquettes multi-zones et une fonction de contrôle plasma du procédé multiphase pour un contrôle précis de la distribution des gaz ionisés. Tactras dispose également d'une capacité multi-modules, permettant à l'opérateur de modifier les configurations pour répondre aux exigences spécifiques du processus. Il soutient une architecture ouverte pour soutenir différentes chimies pour la recherche et le développement. Il prend également en charge l'intégration de logiciels, de détecteurs et d'appareils tiers. TEL/TOKYO ELECTRON Tactras dispose d'une alimentation électrique universelle, d'une conception à double chambre et d'une machine de refroidissement avancée qui fournit un environnement stable pour des résultats de processus précis et reproductibles. Sa conception de chambre à cinq faces offre une plus grande flexibilité dans le positionnement des plaquettes, vous permettant de traiter des échantillons de plusieurs directions et angles. TEL Tactras comprend également une interface intuitive de contrôle d'écran tactile qui fournit une configuration de processus rapide et facile. La navigation tactile permet aux opérateurs de contrôler facilement les paramètres de l'etcher, et fournit une rétroaction visuelle détaillée du processus. Enfin, TOKYO ELECTRON Tactras est conçu pour une longue durée de vie et des performances constantes. Il dispose d'un outil de dissipation de chaleur efficace qui élimine le besoin de travaux d'entretien fréquents. Il supporte également un grand nombre de tailles de plaquettes et dispose d'un outil de calibration intégré pour un contrôle précis des processus.