Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9395908 à vendre en France
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ID: 9395908
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
Etcher, 12"
Type: TAC-3VVZWRG
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras, un équipement de gravure/asher haute résolution, est conçu pour être utilisé dans diverses industries, notamment dans les domaines des semi-conducteurs, de l'aérospatiale, de l'automobile, de l'électronique grand public et de la médecine. TEL Tactras dispose d'une capacité très polyvalente pour graver diverses épaisseurs de couches minces de divers matériaux de 4nm à 5µm. Ce système de gravure précis est équipé d'une résolution ultra élevée, d'un contrôle de vitesse de gravure réglable et de capacités de gravure profonde répétables. TOKYO ELECTRON L'unité Tactras est composée de plusieurs composants, dont l'unité principale, le plateau de gravure et l'alimentation électrique. L'unité principale dispose d'une chambre ouverte pour un accès facile et est équipée d'un bras robotique à six axes et d'un élévateur motorisé pour une navigation et un contrôle précis. Le plateau de gravure offre une longue durée de vie et une fiabilité robuste lors de la gravure à grande vitesse. Le élévateur motorisé permet un réglage facile et une surveillance constante de la gravure des flancs pendant le processus de gravure. Tactras est conçu avec une machine de contrôle de vitesse de gravure prédictive en temps réel très avancée. Cet outil utilise des paramètres contrôlables avancés pour maintenir avec précision une vitesse de gravure constante pendant la procédure de traitement. TEL/TOKYO ELECTRON Les capacités de contrôle en temps réel de Tactras permettent aux utilisateurs d'optimiser les conditions de gravure tout en réduisant le risque d'irrégularité et de dommages de gravure. La puissante source de plasma à basse température de TEL Tactras est capable de produire de l'énergie ionique de 10 à 20 eV avec un réglage jusqu'à 30 à 40 eV. Cette source de plasma à basse température est capable de fournir une vitesse de dépôt élevée et un temps de traitement réduit, ce qui entraîne une augmentation du débit d'échantillon. TOKYO ELECTRON Tactras utilise également un actif avancé de livraison et de contrôle de gaz pour obtenir des résultats de gravure précis et réussis. Tactras offre aux utilisateurs plusieurs fonctionnalités facultatives, telles qu'un modèle de récupération de gaz et un moniteur température/zone de pression. Le moniteur de zone pression/température permet aux utilisateurs de vérifier la température et la pression à partir de plusieurs points à l'intérieur de la chambre de gravure. L'équipement de récupération de gaz aide à réduire le gaspillage de gaz et, par conséquent, améliore l'efficacité du processus. De plus, le système TEL/TOKYO ELECTRON Tactras offre de nombreux outils de diagnostic, permettant aux utilisateurs de prérégler les paramètres de gravure avant le cycle de traitement pour l'optimisation des processus. Équipé de ces fonctionnalités avancées, TEL Tactras est une unité de gravure polyvalente, puissante et fiable pour la R&D et les environnements industriels. Sa machine de contrôle avancée, sa source de plasma à basse température et ses fonctionnalités facultatives font de TOKYO ELECTRON Tactras une solution idéale pour les applications de gravure en couches minces et de gravure profonde. Cet outil de graveur très précis est sûr de fournir des résultats fiables pour tout besoin de gravure.
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