Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #293592867 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC est un graveur/asher ultra-précis et très fiable, avec de nombreuses fonctionnalités utiles. C'est un équipement de moyenne précision avec une capacité de charge moyenne. Le système se compose d'une chambre de verrouillage de charge, d'une source de plasma, d'un élément chauffant de substrat, d'une chambre de gravure, d'une unité de refroidissement arrière et d'une unité d'échappement. La chambre de serrure est équipée d'un port de chargement et de vannes de grille pour le chargement in/out des substrats. La source de plasma est une source radio-fréquence (RF) à couplage inductif pour générer un plasma haute densité dans la chambre de gravure. L'élément chauffant du substrat peut être utilisé pour contrôler précisément la température du substrat dans la chambre de gravure. La chambre de gravure est conçue pour maintenir des températures de processus allant jusqu'à 500 ° C, elle est donc adaptée à une large gamme de processus de gravure. La chambre de gravure est équipée d'une plaque supérieure et inférieure perforée, de sorte que les gaz de procédé peuvent être répartis uniformément dans la chambre. La chambre comporte également une unité de refroidissement intégrée pour assurer une température uniforme à travers le substrat. L'unité de refroidissement arrière est utilisée pour refroidir le substrat pendant les processus de gravure. L'effet de refroidissement de l'unité est réglable en fonction de la taille du substrat, du procédé de gravure et des conditions du procédé. L'unité d'échappement est conçue pour maintenir la chambre de procédé propre tout en empêchant l'évacuation des gaz de procédé vers l'environnement. Outre les caractéristiques ci-dessus, TEL TE 480 HGC est équipé de deux interfaces ; Industrie 4.0 et contrôle de service étendu (ESC). L'interface Industrie 4.0 assure une communication sécurisée entre l'unité et l'opérateur et permet de s'assurer que le processus de gravure fonctionne correctement. Le module de contrôle de service étendu (ESC) permet la maintenance à distance, le diagnostic machine et les fonctionnalités de mise à niveau. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 480 HGC est un excellent choix pour les applications de gravure et d'ashing de moyenne précision. La grande précision et la fiabilité de l'outil, combinées à des interfaces de contrôle avancées et faciles à utiliser, en font un choix idéal pour une large gamme d'applications liées aux semi-conducteurs.