Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9098935 à vendre en France
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ID: 9098935
Taille de la plaquette: 6
Style Vintage: 1989
Oxide etcher, 6"
Chamber
1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 est une gravure/cendres qui offre une gravure acide et plasma haute performance des surfaces. Cet etcher peut traiter à la fois des substrats monobloc et double face dans le même processus. La chambre est revêtue de polytétrafluoroéthylène (PTFE), ce qui empêche les particules de coller sur les pièces à graver. L'etcher est également équipé de dispositifs de sécurité intégrés automatisés, y compris la capacité d'arrêter le processus s'il détecte un etchant de surchauffe. L'etcher dispose d'un équipement de manutention automatique des plaquettes qui surveille la chambre et aide à assurer le chargement et le déchargement précis des plaquettes. Il dispose également d'un système de gravure de gaz ionisé (IG) qui utilise du gaz ionisé haute densité (IG) pour graver rapidement des substrats sans laisser de bavures. La méthode de gravure IG est idéale pour graver des motifs précis et complexes sur les appareils. L'unité de gravure IG augmente également la vitesse de gravure et réduit le temps nécessaire à la gravure de chaque appareil. TEL TE 480 etcher dispose d'une grande chambre (4,2 "X 4,5" X 10 ") d'une capacité de 60 plaquettes en 300mm de diamètre. Il dispose également d'un générateur RF haute puissance avec une gamme de fréquences de 100-600 kHz et une machine de commande de puissance multifréquence qui permet une sortie de puissance efficace au substrat pendant la gravure. Le graveur est également équipé d'un outil électrique RF isolé et d'une puissance de gravure maximale de 4 kW. L'actif piloté par ordinateur peut être programmé pour graver plusieurs plaquettes simultanément, augmentant encore la vitesse de gravure. L'etcher dispose de différents systèmes pour surveiller le processus, y compris une alarme de pression modèle en temps réel qui avertit l'utilisateur lorsque la pression dépasse la valeur de consigne, et une alarme de fuite de chambre d'équipement qui détecte les fuites de gaz anormales. Il dispose également d'un système de contrôle de la température de la chambre qui maintient la température de la chambre constante dans la plage de réglage. L'etcher est conçu pour être facile à utiliser et à entretenir avec son interface conviviale. En plus des fonctions de sécurité automatique, l'graveur est également livré avec des procédures de contrôle de traçabilité pour garantir une gravure de haute qualité. Cette unité enregistre l'historique de traitement des plaquettes, comme la recette de gravure utilisée et le nombre d'échantillons gravés. Cette machine permet également de réduire les pannes dues à des pannes de matériel ou d'équipement et de contrôler et retravailler en temps réel les substrats problématiques. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 480 est un graveur fiable, performant et convivial qui est idéal pour graver des motifs complexes sur différents substrats. Son large éventail de caractéristiques de sécurité, les procédures de contrôle de traçabilité et l'outil automatisé de manipulation des plaquettes permettent à l'utilisateur de graver avec précision et rapidité tout en utilisant des ressources minimales.
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