Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293830626 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un graveur/asher sec multifonctionnel de haute précision. Il est idéal pour une variété d'applications, y compris la photolithographie, gravure avancée, isolation, recuit de rampe et recuit thermique. L'etcher offre une variété de fonctionnalités et de capacités, telles que des taux de gravure élevés, le contrôle du substrat, des processus propres, et une conception d'application pour réduire les temps de cycle. L'etcher utilise une source brevetée de faisceau d'électrons à assistance électromagnétique (EMEBE) pour nettoyer la chambre, réduisant les temps de cycle et entraînant un traitement cohérent. La source EMEBE est également utilisée pour générer un plasma dans la chambre de gravure ; ce faisant, les contaminants et les résidus peuvent être facilement gérés. L'etcher comprend un équipement de montage automatique du substrat, permettant un placement rapide et facile du substrat et l'entretien de la chambre à vide. Ce système comporte également un réglage permettant de régler chaque substrat de manière indépendante ou collective. TEL TE 5000 ATC dispose de systèmes de contrôle de la chaleur et de RF. L'unité RF peut contenir une diversité de fréquences conduisant à un fonctionnement simultané en double fréquence, ce qui est essentiel pour résoudre les différences d'impédance et de composition de surface souvent rencontrées dans le traitement. La machine RF peut également gérer avec précision la température du substrat et de la surface de la pièce. L'ATC ET 5000 a un contrôle avancé de la pression et de la température pour une meilleure gestion des particules et une durée de gravure réduite. Il dispose d'une variété de niveaux de pression, allant de la pression atmosphérique à la pression sub-atmosphérique, et de plusieurs paramètres de sécurité pour une sécurité accrue. La chambre est équipée d'une variété de capteurs, y compris des caméras IR et des thermocouples pour surveiller la température, la pression et le débit. Les capteurs permettent l'acquisition de données en temps réel, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster leurs paramètres en temps réel. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un choix idéal pour une variété d'applications de gravure sèche et d'ashing et fournit d'excellents résultats avec une variété de substrats et de matériaux. Les capacités de gravure et de recuit de haute précision, combinées à ses procédés avancés, en font un outil idéal pour des applications de recherche et de production haut de gamme.