Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9033639 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un graveur/asher haute performance spécialement conçu pour les procédés en silicium polycristallin et autres procédés semi-conducteurs. C'est un équipement entièrement automatisé avec un système de contrôle des particules très avancé et une technologie laser qui offre une productivité inégalée et une excellente finition de surface. TEL TE 5000 ATC dispose d'une unité de dépôt multi-chambres avancée qui se compose de plusieurs réservoirs de gravure capables de recevoir différentes tailles de substrat. Le procédé de gravure peut être ajusté en fonction de la recette du procédé, qui est contrôlée graphiquement et facile à utiliser. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC utilise le contrôle automatique d'épaisseur (ATC) pour surveiller le dépôt à travers une machine optique spécialisée. Cette technologie fournit aux utilisateurs une rétroaction en temps réel sur l'épaisseur du film et la surveillance du processus. TE 5000 ATC est également livré avec un contrôle de température avancé, ce qui permet un chauffage et un refroidissement rapides du substrat pendant le traitement. Cela permet d'améliorer la cohérence du procédé et le rendement des dépôts. L'unité est équipée de capacités de suppression de bruit EMC pour réduire les interférences électromagnétiques et minimiser les niveaux de bruit. De plus, l'outil intègre une alimentation en azote sécurisée pour une gravure de gaz à haute stabilité. Outre ses excellentes performances de gravure, TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC dispose également d'un puissant atout moteur, qui fournit un contrôle de mouvement à grande vitesse. Le modèle de commande de mouvement permet le fonctionnement simultané de plusieurs chambres avec un positionnement précis du substrat, ce qui réduit considérablement le temps d'attente entre les étapes du processus. TEL TE 5000 ATC dispose également d'un équipement de récupération de substrat qui récupère rapidement et avec précision les substrats plus petits des réservoirs de gravure. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est une unité de graveur/asher avancée idéale pour la production de silicium polycristallin et d'autres procédés semi-conducteurs. Il offre d'excellentes performances et un contrôle de processus supérieur, ainsi qu'un temps de gravure réduit. En outre, le système offre une alimentation en azote sécurisée et un contrôle de température avancé pour améliorer la cohérence du processus, ainsi que la suppression des interférences électromagnétiques (CEM) pour un fonctionnement plus silencieux. Avec son unité d'entraînement rapide et sa machine automatique de récupération de substrat, TE 5000 ATC est un choix fiable et rentable pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.