Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC
ID: 9098711
Taille de la plaquette: 6
Style Vintage: 1992
Etchers, 6" Chamber / ATC 1992 vintage.
L'équipement TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC (gravure/cueillette) est un système de gravure et de cueillette semi-automatisé, polyvalent et perfectionné offrant une large gamme de procédés de gravure et de cueillette à haute performance. TEL TE 5000 ATC est une machine modulaire conçue pour offrir des performances de gravure et de cendrage supérieures et une variabilité, ainsi qu'une productivité maximale. L'unité est pré-construite avec quatre zones expérimentales distinctes pour le traitement simultané d'échantillons multiples. Les quatre processus peuvent être entièrement personnalisés pour répondre aux exigences individuelles de toute expérience. En outre, TOKYO ELECTRON TE 5000ATC peut être facilement personnalisé avec des modules supplémentaires pour étendre ses capacités. L'outil est alimenté par un canon à électrons de type HT à commande de précision et est capable de gravure et de cendre. Une interface utilisateur intuitive avec des contrôles tactiles et la surveillance des processus en temps réel le rend facile à utiliser. Il dispose d'un générateur de plasma amélioré pour augmenter les taux de gravure sur les substrats métalliques et d'un chargeur par lots pour le chargement et le déchargement automatisés. Le TE 5000 ATC est un outil sophistiqué et hautement automatisé pour la gravure et la cueillette de divers matériaux, dont le silicium, les semi-conducteurs composés et les métaux. Il est conçu pour produire des résultats de gravure et de cendres reproductibles et précis si les exigences contemporaines de traitement des gravures/cendres. TEL TE 5000ATC est livré avec de puissantes capacités de gestion de processus et de données, permettant aux utilisateurs de stocker et de récupérer des recettes et d'autres paramètres de processus. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC utilise une grande variété de gaz et de vecteurs précis pour fournir des résultats précis et répétables de gravure/cendres. Les approvisionnements en gaz sont activement contrôlés et surveillés afin d'assurer un taux de gravure constant et répétable. Le régulateur de pression unique permet un contrôle exact de la pression de plusieurs gaz dans la chambre. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC est un outil puissant et multifonctionnel pour la gravure précise et l'ashing de nombreux matériaux. Les caractéristiques avancées du procédé TEL le rendent idéal pour une grande variété de procédés de gravure et d'ashing impliquant le silicium, les semi-conducteurs composés et les métaux. Son interface conviviale et son contrôle fiable des processus en font une solution idéale pour les chercheurs et les techniciens de gravure qui exigent des résultats toujours précis.
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