Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un équipement de graveur/asher avancé pour le traitement à haut volume des matériaux. Il utilise une chambre de gravure monobloc pour traiter des substrats jusqu'à un maximum de 200 mm de diamètre à une vitesse allant jusqu'à 50 plaquettes par heure. Le système se compose d'un poste de verrouillage de charge multi-godets, d'une chambre de gravure haute stabilité, d'une source de gravure plasma basse pression, d'une unité de réduction en boucle fermée et d'une machine d'échappement constituée d'une pompe à membrane et d'un filtre. La chambre de gravure a un contrôle uniforme de la température et de la pression, ce qui la rend plus facile et ne nécessite pas un contrôle complexe des gaz réactifs. TEL TE 5000 ATC dispose d'un outil informatique intégré avec une capacité de surveillance avancée. Il est conçu pour être utilisé avec des gaz de qualité HPLC CF4 ou NF3. L'actif peut comprendre plusieurs étapes de processus telles que la gravure plasma, la gravure ionique réactive et la passivation en un seul cycle. Les paramètres du processus sont enregistrés à chaque exécution du processus, et le résultat peut être comparé à la recette cible. Le modèle est conçu pour la gravure de motifs de haute précision et permet un contrôle précis des paramètres de gravure, tels que la sélectivité, la vitesse de gravure et la précision. Les équipements ATC TOKYO ELECTRON TE 5000 peuvent traiter une variété de substrats, des métaux aux plaquettes de silicium et aux films isolants. Il dispose également d'un système de chargement/transfert automatisé pour les plaquettes et les cassettes. Il dispose d'une commande de pompe automatisée pour un contrôle précis de la pression de la chambre de gravure. L'unité a une capacité de processus à haut débit avec un niveau élevé de répétabilité pour la cohérence du produit. Il dispose d'une capacité de visualisation haute résolution avec une caméra intégrée. La machine est conçue pour un fonctionnement fiable avec un temps d'arrêt minimal. Il dispose d'un circuit et d'une surveillance des processus, ainsi que d'un outil intégré de verrouillage de sécurité. L'actif est conçu pour un entretien et un nettoyage faciles, et peut être connecté avec un ordinateur personnel pour l'enregistrement des données et la tenue des registres. Le modèle a été conçu pour répondre à toutes les réglementations environnementales et de sécurité applicables. Le TE 5000 ATC est un équipement de graveur/asher fiable et avancé pour le traitement à haut volume. Il est conçu pour le contrôle précis des processus de gravure, et dispose également d'un système informatique intégré avec la capacité de surveillance. C'est une unité sûre et fiable avec un entretien facile. Il convient à une gamme de substrats et peut fournir des résultats cohérents et fiables.