Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638 à vendre en France
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ID: 9142638
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Oxide etcher, 8"
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un ion etcher réactif (RIE) qui est utilisé pour enlever des couches de matériaux des surfaces du substrat. Cet appareil dispose d'un équipement de chambre de torche avancée (ATC), qui fournit une gravure rapide des matériaux et un usinage de haute précision pour une grande variété d'applications. Le système offre un processus de gravure à haut débit et à faible endommagement grâce à une combinaison de plasma à haute température à base d'hydrogène et une conception avancée de la chambre de torche. Les principaux composants de TEL TE 5000 ATC comprennent la chambre à plasma, la pompe turbomoléculaire et la chambre de torche avancée (ATC). La chambre à plasma est construite avec une construction de joint à fente avancée et a une surface de gravure maximale de 395 mm sur 278 mm. La pompe turbo moléculaire est une pompe haute performance qui est utilisée pour évacuer la chambre en créant un vide élevé. Enfin, l'ATC utilise un plasma à haute température et à haute efficacité à base d'hydrogène pour produire un processus de gravure puissant. L'unité est contrôlée par un logiciel de contrôle numérique par ordinateur (CNC) et le logiciel fournit une gamme de fonctionnalités, y compris le contrôle des processus, la bibliothèque de recettes, les schémas d'alarme et les capacités d'enregistrement des données. La machine est également livrée avec une alimentation de rétroaction proportionnelle à la température (TPFS) qui fournit un processus de gravure optimisé. TOKYO ELECTRON TE 5000ATC offre un procédé de gravure à grande vitesse qui convient pour fonctionner à haute température. L'appareil est conçu pour une gravure et un nettoyage répétables, précis et rapides des structures profondes, des caractéristiques étroites et des grandes surfaces. Il est capable de graver des matériaux tels que des polymères, du silicium, de l'arséniure de gallium, de l'acier inoxydable, du titane et de nombreux autres métaux durs. L'appareil est utilisé dans la production de téléphones portables, d'appareils médicaux et de composants électroniques. Dans l'ensemble, TE 5000ATC est un outil avancé de gravure et de nettoyage avec des fonctionnalités qui le rendent adapté à de nombreuses applications. Le dispositif est facile à utiliser et permet une gravure répétable et précise. Il est capable de graver divers matériaux avec une grande vitesse et précision à haute température.
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