Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236836 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC est un graveur/asher conçu pour des applications de traitement du plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise une combinaison de processus de gravure assistée par plasma et de nettoyage chimique humide pour créer des caractéristiques propres et précises sur un substrat. L'équipement est spécifiquement conçu pour atteindre un haut niveau de répétabilité et de précision tout en fournissant une plate-forme pour le développement et l'optimisation des processus. TEL TE 5000ATC est un système à double chambre qui peut traiter simultanément jusqu'à deux substrats en utilisant des paramètres et des réglages de processus indépendants. La chambre principale est équipée d'un étage tournant, de fixations d'effet final, de commandes de cibles et d'alimentations en plasma, ainsi que de divers gaz pour la génération de solutions ionisées ciblant la surface du substrat. La chambre secondaire est équipée d'un poste de manutention, d'un étage tournant et de lignes d'alimentation en solution. Le substrat est pré-nettoyé dans la chambre secondaire avant d'entrer dans la chambre principale de gravure. TOKYO ELECTRON TE 5000ATC offre un haut degré de contrôle des processus, avec une large gamme de systèmes de distribution de gaz, de pression, de température et de sécurité. Les paramètres du processus plasma peuvent être ajustés localement et à distance à l'aide du panneau de contrôle tactile. L'unité est équipée d'une machine intégrée de détection de bord de tranche et une gamme de substrats peut être logée y compris le silicium, et les composés III-V. Divers procédés de gravure sont possibles, y compris la gravure sèche, directionnelle et uniforme, ainsi que la gravure anisotrope tridimensionnelle. TE 5000ATC s'interface avec d'autres systèmes industriels d'automatisation pour rationaliser la production et a été conçu pour garantir que la sécurité est primordiale. Il dispose d'un outil de production de plasma économe en énergie qui réduit la consommation d'énergie et est entièrement conforme aux dernières réglementations environnementales. Au total, TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC est un graveur/asher avancé conçu pour les applications de traitement du plasma dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa combinaison de processus de gravure assistée par plasma et de nettoyage chimique humide fournit un niveau élevé de précision, de répétabilité et de contrôle, ainsi que de faciliter le développement et l'optimisation des procédés. Il est conçu avec la plus grande sécurité pour le personnel, l'environnement et le substrat.