Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC est un graveur/asher de pointe conçu pour fournir des conditions de processus précises et reproductibles. Doté d'une chambre de processus avec une étape de traduction à trois axes, il est conçu pour fournir des résultats de haute précision pour une large gamme d'applications de gravure et de décapage. L'équipement de contrôle automatique offre une excellente répétabilité du processus tout en fournissant des résultats fiables et reproductibles. Ce graveur/asher dispose d'un système de vide qui est optimisé pour assurer une évacuation rapide de la chambre, l'entrée d'air et l'élimination des particules. Une unité de contrôle de pression avancée assure des conditions de pression précises et répétables tout au long du processus de gravure. Cet etcher/asher est équipé d'une source d'énergie RF 1000 W, permettant un fonctionnement à une large gamme de fréquences pour une variété d'applications. Un chauffe-substrat à positions multiples offre une excellente uniformité de température sur l'ensemble du substrat. Une interface intuitive de machine humaine (HMI) permet une configuration facile de la machine et l'enregistrement des données. Cet etcher/asher est compatible avec une vaste gamme d'options, y compris des systèmes de développement humide, un détecteur de point d'extrémité in-situ, un balayeur in-situ, un nettoyeur de plaquettes in-situ et d'autres. En plus d'être facile à utiliser et hautement configurable, TEL TE 5000 ATC est également conçu avec la sécurité en tête, venant avec des systèmes de sécurité intégrés, tels qu'un entretoise sous vide, un capteur d'atmosphère potentiellement explosif, un entretoise de sécurité de serrure de charge, et d'autres. Une gamme de systèmes de surveillance RF sont également inclus, comme le Plasma Monitoring Module, qui surveille la puissance RF et les paramètres correspondants du substrat traité pendant le processus de gravure ou de strippage. L'amélioration de la précision de la puissance RF et l'uniformité des processus contribuent également à améliorer la répétabilité des processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 5000ATC est un graveur/asher incroyablement puissant qui est conçu pour fournir des résultats reproductibles et fiables et est une solution idéale pour une grande variété d'applications. Ses fonctionnalités avancées permettent d'assurer la répétabilité et la fiabilité tout en offrant une excellente uniformité des processus et des capacités de surveillance.