Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293652771 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un système de graveur et asher utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, entre autres procédés industriels. Le système est composé d'une chambre de processus, d'un robot de transfert de plaquettes, de casiers de chargement et d'un contrôleur. La chambre de procédé est une enceinte en acier inoxydable scellée sous vide équipée d'une chambre de planarisation, d'un plasma à couplage inductif (ICP) ou d'une source de faisceau d'électrons (EB), et de deux systèmes de distribution de gaz. La chambre de planarisation est destinée à fournir une couche de gaine de plasma efficace au bord du motif de gravure et à assurer une surgravure uniforme dans le fond de la tranchée, permettant ainsi un calage précis. La source ICP ou EB est responsable de la gravure des tranchées, de l'activation et de la gravure à sec des couches SiO2 et Si3N4. Les deux systèmes de distribution de gaz sont chargés d'alimenter les gaz de gravure et de nettoyage pour une gravure plasma efficace et de détecter la pression dans la chambre de procédé. Le robot de transfert de plaquettes est responsable du transfert de plaquettes à l'intérieur de la chambre de procédés et entre la chambre de procédés et les verrous de charge. Le robot est équipé d'un aligneur de bosse pour aligner les plaquettes et les pistes noyées dans le plancher de la chambre pour positionner le bras du robot. Le robot est contrôlé par le contrôleur robot et le logiciel pour assurer le transport des plaquettes d'une manière sûre et sécurisée. Les chiens de charge sont utilisés pour maintenir solidement les plaquettes pendant qu'ils sont insérés et retirés dans la chambre de processus. Les chiens de charge ont un micropositionneur intégré et contrôle de détection de vide pour assurer le positionnement correct de la plaquette. Le contrôleur est responsable du contrôle des opérations de l'ensemble du système. Le contrôleur se compose d'une carte principale, d'une carte d'interface utilisateur, d'une carte d'affichage et d'une carte d'interface de communication. Il surveille et régule le processus, y compris l'écoulement des gaz, les niveaux de puissance, les températures et les pressions, ainsi que le mouvement des plaquettes. Tous les paramètres doivent être étroitement surveillés pour assurer le succès du processus. TEL TE5000 offre des performances de gravure et de cendrage supérieures à celles des procédés manuels, ce qui améliore la productivité et le rendement.