Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000
ID: 293747707
Etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un équipement de gravure/ashing avancé offrant les meilleures performances et productivité. Ce système semi-automatique est conçu pour le traitement économique et fiable de divers substrats, y compris les métaux, les substrats de silicium sur isolant (SOI) et d'autres matériaux. Grâce à la technologie SCS (Substanic Conditioning Unit), sa machine de contrôle de mouvement assure une gestion supérieure du substrat et réduit considérablement le temps nécessaire à la préparation de la surface avant la gravure. Cette plate-forme de gravure haut de gamme peut également être utilisée pour traiter des substrats de plus petite taille. TEL TE5000 a été conçu pour produire des résultats de gravure de haute qualité pour des caractéristiques complexes et fines sur divers substrats. Il dispose d'un étage de balayage X, Y et Z à haute vitesse multi-axes, qui permet un mouvement du substrat plus rapide et plus précis. L'outil comprend également un interféromètre laser de haute précision, qui compense efficacement la dilatation thermique et d'autres perturbations. Sa rétroaction en boucle fermée assure une grande cohérence de gravure sur de grandes tailles de substrat, permettant une répétabilité et une fiabilité supérieures du processus de gravure. L'actif comprend également une source de plasma atmosphérique avancée intégrée, qui optimise et contrôle l'équilibre plasmatique, la pression et la température du processus de gravure. Le modèle dispose d'un équipement efficace d'élimination de la résistance, fournissant un processus amélioré de cuisson souple pour l'élimination fiable et uniforme de la résistance. La vitesse de gravure de TOKYO ELECTRON TE-5000 est encore augmentée par sa technologie avancée RF-ETP (RF Enhanced-Flow Process). Ce procédé innovant réduit le temps nécessaire à la gravure, tout en augmentant la précision de gravure. Le fonctionnement efficace et la maintenance facile de TOKYO ELECTRON TE5000 le rendent adapté à l'intégration manuelle et automatisée du système dans des environnements de production difficiles. Cette unité de gravure à faible coût et haute performance offre des économies de coûts supérieures et des performances inégalées. En raison de sa capacité de gravure supérieure, TEL TE 5000 est recommandé pour les applications les plus exigeantes sur le plan technique.
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