Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293772672 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000
ID: 293772672
Taille de la plaquette: 5"
Etcher, 5".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un graveur/asher de pointe pour l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement est conçu pour fournir une excellente précision et fiabilité, même lors du traitement par des matériaux difficiles. Le système dispose d'une capacité de gravure/cueillette de haute précision, ainsi que d'applications de découpe, de forage et de soudage de précision. Les capteurs de température intégrés permettent un contrôle automatisé de la température avec une excellente précision. TEL TE5000 peut effectuer à la fois la gravure et le cendrage, qui sont des procédés essentiels utilisés dans la production de semi-conducteurs. L'unité dispose également d'une interface graphique conviviale, offrant un contrôle total des paramètres du processus, et d'un progiciel unifié pour importer, modifier et exporter les données du programme pour les processus de gravure et d'ashing. TOKYO ELECTRON TE-5000 comprend une chambre de refroidissement sous vide robuste pour des processus de gravure et de cueillette efficaces. Cette chambre permet d'assurer un calage uniforme de chaque couche et minimise les effets de chauffage sur le substrat. De plus, la chambre est équipée d'un compresseur à retard et de filtres pour assurer un environnement propre et stable. La machine dispose d'un bras robotique 6 axes de haute résolution pour le mouvement du matériau de procédé. Ce bras robotique fournit des mouvements rapides, précis et répétables, ce qui donne une résolution de couche supérieure et une répétabilité de processus supérieure. L'utilisateur peut également contrôler le débit du matériau au cours du processus. En outre, TE 5000 est équipé d'une grande variété de systèmes de surveillance, de systèmes d'enregistrement des données, de dispositifs d'entrée/sortie et de systèmes de contrôle pour les processus de gravure et de cueillette. Il dispose également d'un réservoir de haute capacité pour stocker le matériau de procédé afin de prévenir la contamination. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 est entièrement calibré et testé avant chaque cycle et est conçu pour dépasser les spécifications du client et les normes de qualité et de performance de l'industrie. Cet outil offre une précision et une fiabilité accrues pour une grande variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs.
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