Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293820984 à vendre en France
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ID: 293820984
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Etcher, 6"
Main frame
Control rack
General rack
TP Controller
TMP
1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un graveur de plaquettes de haute précision développé par TEL. Cet etcher est adapté à un large éventail d'applications, y compris le traitement de semi-conducteurs, MEMS, traitement d'affichage, et photonique. TEL TE5000 dispose d'une technologie avancée de gravure par plasma combinée à une gravure avancée assistée par photo. Ce graveur assure un contrôle de gravure extrêmement précis, un rapport d'aspect élevé et une excellente homogénéité et débit pour différents procédés de gravure. L'etcher a un design de chambre sophistiqué, permettant jusqu'à 5 niveaux de processus de gravure. TOKYO ELECTRON TE-5000 est conçu pour fournir un haut débit et une grande précision de processus. L'etcher est conçu pour accueillir les tailles des chambres de processus jusqu'à 200 mm x 200 mm, et les tailles des plaquettes jusqu'à 300 mm. Le processus de chargement et de déchargement des plaquettes peut également être automatique, ce qui permet un traitement par lots efficace. TE-5000 est équipé d'une interface logicielle évoluée et conviviale. L'interface facilite la mise en place et le contrôle des processus de gravure. Le logiciel permet également aux utilisateurs de surveiller et de contrôler divers paramètres tels que le débit de gaz, la pression et les rapports de mélange de gaz. Il permet également aux utilisateurs d'analyser et d'optimiser les processus de gravure avec les données recueillies au cours du processus. TEL TE 5000 est conçu avec une structure de chambre optimisée pour offrir une uniformité de gravure supérieure et une répétabilité de processus. Il contient à la fois des sources RF et DC, fournissant aux utilisateurs un contrôle puissant des variables de processus. D'autres caractéristiques de cet etcher comprennent la capacité d'effectuer un contrôle rapide de la température, une option de cartographie des plaquettes, et une conception rapide de bras de robot. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000 est un graveur de plaquettes très avancé, fiable et convivial. Cet etcher est un excellent choix pour une variété de traitement de semi-conducteurs, MEMS, traitement d'affichage, et photonique applications. Grâce à son matériel et à ses logiciels sophistiqués, TEL TE-5000 offre des résultats de gravure supérieurs avec une répétabilité et une précision supérieures.
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