Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9068911 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un asher ou graveur conçu pour la gravure de circuits semi-conducteurs. C'est une machine de haute précision qui peut graver des barrières de précision de quelques nanomètres pour créer des lignes fines dans des plaquettes ultra-pures ou des films minces. Le processus de gravure est soigneusement contrôlé par une combinaison de logiciels, de matériel et de matériel de contrôle sous vide. TEL TE5000 est conçu pour la gravure dans des procédés secs (plasma) ou humides (liquide). En gravure sèche, la machine utilise un pistolet à plasma et des électrodes pour construire un environnement réactif d'ions et d'électrons qui gravent la conception sur le substrat. En gravure humide, on mélange un produit chimique liquide avec de l'eau, et on pulvérise cette solution sur le substrat pour créer la gravure. TOKYO ELECTRON TE-5000 peut graver les deux grandes surfaces à la fois (appelée gravure par lots) ou il peut se déplacer à travers la surface de la plaquette à une vitesse contrôlée tout en gravant de petites portions dans un motif (appelé gravure pas-à-pas). Les aspirateurs de la machine assurent que le plasma et le liquide sont tenus à l'écart de la plaquette, et les différents capteurs mesurent le processus de gravure et documentent les paramètres du processus à des fins de contrôle de la qualité. Le processus de gravure peut également être contrôlé avec des programmes informatiques qui génèrent les paramètres de motif. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 est également capable de réaliser des motifs complexes et complexes en utilisant des couches de matériau de masquage sur la plaquette ou en réalisant des procédés de gravure inverse. Ce processus crée des motifs réalisables à partir de photomasques plats (appelés « lift-off »). En outre, des procédés secondaires tels que la pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur et l'implantation ionique peuvent également être réalisés. TE-5000 est un système de gravure fiable capable de produire rapidement et précisément des gravures à haute résolution. Son contrôle fin est dû à sa conception avancée combinée à ses systèmes de contrôle logiciel sophistiqués. TE5000 est un outil précieux pour la gravure de précision dans l'industrie des semi-conducteurs.