Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un graveur/cendrier conçu pour graver efficacement des plaquettes de cendres, des circuits intégrés et d'autres composants avec précision et répétabilité. Cette machine utilise un spectrophotomètre optique avancé pour mesurer avec précision les paramètres du processus en temps réel pour une gravure et un cendrage supérieurs. L'environnement sous vide ultra-élevé créé par TEL TE5000 empêche les particules dans l'air d'affecter le processus de gravure/cueillette et fournit un environnement ultra-propre pour un fonctionnement fiable. En outre, le cendrier offre une meilleure sélectivité pour assurer une gravure non désirée minimale de plus petites caractéristiques. TOKYO ELECTRON TE-5000 supporte des tailles de substrat de 1 pouce à 8 pouces, avec une température maximale de 850 ° C, une pression de chambre maximale de 0,5 torr, et une largeur de bande Asher de 8 kHz. L'équipement a une hauteur de pas maximale de 20 µm, et dispose également d'un ensemble de bobines programmables qui assure une gravure uniforme et une réduction même des couches d'oxyde. L'intégration de programmes pour divers détails de traitement des plaquettes est également possible avec TE 5000. TE-5000 dispose d'une variété de sous-systèmes pour optimiser le processus, y compris une chambre de réacteur de procédé, une unité de contrôle de chambre de procédé (ICCU), une colonne SEM lourde robuste, un système d'alimentation chimique en fonctionnement rapide, un générateur hyperfréquence haute performance et une unité d'injection de gaz en temps réel. Il utilise également un logiciel spécialisé pour la recherche rapide de données, la communication interactive, l'optimisation des processus et des interfaces graphiques conviviales. Afin d'améliorer la sécurité et l'efficacité, TOKYO ELECTRON TE5000 comprend une machine à bascule à cassettes, un filtre à sacs de service dans le plan (IPF) pour la collecte des particules fines, et une enceinte ultra-sûre et réductrice de bruit avec des filtres et un outil plus propre. En outre, il est conçu pour économiser de l'énergie en utilisant une technique de magnétron thermique propriétaire (THANM) pour diminuer la consommation de gaz et réduire le coût de fonctionnement. Dans l'ensemble, TE5000 est un graveur/asher avancé conçu pour la gravure précise et la cueillette de plaquettes, de circuits intégrés et d'autres composants. Avec son spectrophotomètre optique avancé et une large gamme de caractéristiques de pointe, cette machine assure des opérations fiables et une meilleure processabilité.