Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9192931 à vendre en France
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ID: 9192931
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Plasma etcher, 6"
Process: Oxide
Vacuum type
Gauge:
MKS 622A02RAE Pressure gauge
VACUUM GEMERAI CMLA-21 Pressure gauge
(2) GRANVILLE PHILLIPS 275071 Convection gauges
Sub module:
EDWARDS CDP80 Dry pump
EDWARDS DP80 Dry pump
SEIKO SEIKI MG-STPH600C-T21/60 TMP
SMC INR-341-60A-X15 Chiller
TEL / TOKYO ELECTRON Chiller Trans OEM
Valve:
VEXTA PH265-02 APC
(3) KURODA C-2-50-60-R3 Gates
Gas flow control:
STEC SEC-4400RC 100 SCCM MFC (CHF4)
STEC SEC-4400MC-302 100 SCCM MFC (CF4)
STEC SEC-4400MC-302 1 SLM MFC (Ar)
STEC SEC-4400MC-302 1 SLM MFC (He)
STEC SEC-4400M 50 SCCM MFC (N2)
RF Unit:
DAIHEN MFG-20SA3A Generator
DAIHEN MFG-20SA3 RF Controller
ASTECH ATL-100 Matcher
JOBIN YVON H-10 VIS EPD
TEL GAP
Power supply: 208-230 VAC, 50/60 Hz, 40 A, 3 Phase
1991 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 est un graveur, ou asher, utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. C'est une machine automatisée conçue pour alléger le temps de production et organiser les processus de gravure sur un substrat en silicium. L'équipement est collecté pour une précision précise du processus, des communications par fibre optique et un transfert rapide de données. TEL TE5000 est conçu pour la flexibilité. Il est équipé d'un cadre très rigide qui permet un chargement et un déchargement faciles, sûrs et précis des substrats. Il dispose d'une chambre d'opération résistante à la corrosion et étanche à l'air, en plus d'un système de vide intégré qui assure l'étanchéité de la chambre de procédé. TOKYO ELECTRON TE-5000 est équipé d'un porte-plaquettes/substrat automatisé qui peut être programmé pour assurer un transfert précis du substrat vers la position de traitement appropriée. Cela garantit une gravure précise pendant toute la durée du processus. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 est également équipé d'une station d'appariement entièrement automatisée qui permet la mise en place automatique du substrat et de l'environnement dans la chambre. La machine est alimentée par un moteur performant capable d'entraîner l'ensemble de l'unité de gravure. Le moteur est équipé de systèmes de commande avancés tels qu'une unité d'alimentation à trois niveaux qui surveille et règle automatiquement le niveau de puissance selon le processus requis, assurant des résultats de gravure précis. En outre, les systèmes de contrôle de mouvement de haute précision ajustent la vitesse et l'accélération du processus afin que des résultats très précis puissent être obtenus. La machine fournit également des capacités de contrôle des défauts avec une machine d'affichage qui permet aux opérateurs de vérifier les conditions de gravure avant le début du processus. Ceci est essentiel pour s'assurer que la machine fonctionne correctement sans écarts. Pour garantir un processus efficace et fiable, TEL TE 5000 est équipé de diverses fonctionnalités. Par exemple, un empileur flip haute précision est utilisé pour élever et abaisser le substrat jusqu'à 400 mm sans distorsions. En outre, la machine est également équipée d'un transfert central, qui imite le mouvement du substrat et des systèmes sous vide lors du traitement. En conclusion, TEL TE-5000 fournit aux utilisateurs une solution de gravure puissante et fiable pour diverses applications de semi-conducteurs. Les capacités d'automatisation et de surveillance intégrées pilotent la précision des processus pour donner des résultats cohérents à chaque fois.
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