Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9148389 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC
ID: 9148389
Plasma etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC est un équipement de gravure de pointe pour les processus de gravure haute densité à faible coût. Le système utilise une conception unique qui utilise un contrôle automatique de voie (ATC) pour contrôler la largeur et le mouvement du faisceau de gravure. L'ATC fournit une grande précision dans la position et le mouvement de la poutre de gravure, ce qui améliore la qualité de la gravure. TEL TE 5000S ATC comprend également une unité de positionnement de faisceau de haute précision et une source de courant de gravure contrôlée de précision pour maintenir des vitesses de gravure uniformes. TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC est une machine à deux niveaux qui peut graver à travers plusieurs couches de matériau avec une grande précision et débit. Il convient également à la gravure sur une variété de substrats tels que le SiO2, le SiNx et le SiGe. Le taux de gravure est réglable avec une large gamme de capacités de gravure, permettant à l'graveur de graver avec une grande vitesse et précision. L'outil a également un faible coût de propriété et peut être utilisé dans la production de lignes fines et de structures. L'ATC TE 5000S utilise une source d'ions intégrée et une chambre d'ions pour contrôler la vitesse de gravure. L'actif intègre également un contrôleur avancé pour contrôler le profil de gravure. Le modèle permet une configuration rapide et une interface d'opérateur facile pour contrôler les paramètres du processus, y compris la tension, le courant, la direction du faisceau et la vitesse de gravure. L'ATC est alimenté par un moteur pas à pas pour un contrôle précis de la vitesse et de la position. TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC est capable de graver un large éventail de matériaux dont SiO2, SiNx, SiGe, GaN, et plus encore. L'équipement est conçu pour fournir un contrôle supérieur des paramètres du processus de gravure, y compris le courant, la tension et le taux de gravure, donnant des résultats de gravure de haute qualité. Le système peut être utilisé pour graver des trous traversants, des vias aveugles et des motifs complexes ainsi que d'autres processus de gravure avancés. TEL TE 5000S ATC a une construction en acier inoxydable de haute technologie avec une fenêtre en quartz et des parois latérales en verre à haute température, qui offrent une excellente protection. L'unité est conçue pour être facile à utiliser et dispose d'une interface conviviale avec un affichage graphique, ce qui la rend facile à configurer, surveiller et stocker les données de processus. La machine est également équipée d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, y compris l'arrêt d'urgence du processus de gravure en cas d'urgence. TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC fournit un outil de gravure robuste, fiable et efficace pour les processus de gravure haute densité à faible coût. L'actif fournit un contrôle supérieur des paramètres du processus de gravure, fournissant des résultats de haute qualité avec une grande vitesse, précision et répétabilité. Le modèle est idéal pour la production de lignes fines et de structures, ainsi que pour les trous traversants, les vias aveugles et les motifs complexes.
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