Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #197615 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 197615
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Oxide etcher, 6" Chamber 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S est un équipement de gravure ionique graveur/réactif (RIE) conçu avec une technologie de pointe et une large compatibilité avec divers types d'équipements. La gravure est couramment utilisée dans les applications électroniques pour fabriquer et modeler des structures à micro et nano-échelles. Le système comporte une photolithographie, dans laquelle une photorésist modelée est formée sur un substrat utilisant une lumière ultraviolette (UV), qui est ensuite gravée dans le substrat à l'aide d'un gaz réactif. TEL TE 5000S est bien adapté à un large éventail de procédés, y compris la gravure sèche, la gravure humide, la gravure par faisceau d'ions, la gravure physique et d'autres procédés de gravure spéciaux. TOKYO ELECTRON TE 5000 S est alimenté par une interface utilisateur graphique en réseau, qui permet un contrôle efficace et précis des processus de gravure. Ses différents réglages peuvent être pré-programmés et ajustés pour des performances optimales. La grande variabilité de configuration de l'appareil le rend adapté à une variété d'applications de gravure. Il utilise une large gamme de gaz, fournissant un processus optimal grâce à des flux de gaz réglables individuellement. Il a une faible consommation de gaz et une production minimale de déchets, contribuant à assurer une machine de plus en plus respectueuse de l'environnement. L'outil est construit avec une chambre de processus intelligente couplée à la stigmatisation des faisceaux et des systèmes d'alignement des étages réticulaires, offrant un haut degré de précision et de stabilité. Il possède également un actif de réglage en hauteur de l'axe Z, nécessaire pour une vitesse de gravure du film variable des étapes de gravure. La température de chambre de TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S peut être précisément réglée au niveau désiré. Le modèle dispose de dispositifs de sécurité avancés, tels que la serrure automatique de la porte et l'arrêt d'urgence, pour protéger l'opérateur et l'environnement. Ses systèmes embarqués d'imagerie et de métrologie permettent un enregistrement précis de la structure des gravures. TOKYO ELECTRON TE 5000S dispose de diverses fonctions de contrôle, telles que la surveillance du débit de gaz et des fuites de courant, et les essais de gaz de procédé. TE 5000S est une solution idéale pour un certain nombre d'applications, y compris le traitement complexe de dispositifs, la production de substrat et la fabrication de circuits. Sa technologie de pointe en fait un outil fiable et efficace qui garantit des processus de gravure robustes et précis. C'est un équipement rentable qui peut réduire considérablement le temps et le coût de fabrication.
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