Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9091958 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S est une machine de gravure avancée conçue pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce modèle est un graveur vertical à chambre unique avec une chambre à vide conçue pour 3-4 équations de gravure. Cet outil de gravure utilise des paramètres de processus qui peuvent être ajustés pour une large gamme de tailles et de configurations de plaquettes, permettant une gravure de haute qualité de tous les types de matériaux semi-conducteurs. TEL TE 5000S utilise deux chambres principales. La chambre inférieure est la « chambre de gravure », qui abrite le matériel de gravure, y compris la navette substrat, le chauffage à tubes et le support, ainsi que les équipements de procédé tels que les systèmes de réaction et de distribution de gaz. La chambre supérieure est celle où se trouve la plaquette en cours de traitement. Ici, un plateau de fréquence sous vide et micro-ondes est utilisé pour chauffer la plaquette avant traitement et soutenir la plaquette pour le clivage et la gravure des feuilles. TOKYO ELECTRON TE 5000 S dispose d'une grande variété de capacités de processus, y compris la gravure conventionnelle et profonde, la gravure de motifs et la gravure sélective de zones. Il est capable de graver du silicium, de l'arséniure de gallium et d'autres types de matériaux semi-conducteurs amorphes et polycristallins. Par l'utilisation de traitement chimique, thermique et électrique in situ, TE 5000S fournit une variété de recettes de processus pour la fabrication d'appareils électroniques et de matériaux semi-conducteurs. TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S est équipé d'un système de commande de mouvement multi-pas, qui comprend un système de vide et de mimique de mouvement qui simule les étapes du processus de gravure avant de commencer. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster et d'optimiser le processus de gravure pour obtenir des performances de gravure maximales. En outre, TOKYO ELECTRON TE 5000S peut être programmé pour graver des configurations et des structures de couches spécifiques selon les besoins pour différents processus. TE 5000 S fonctionne avec une source RF de haute puissance pour générer l'énergie plasmatique nécessaire au traitement des gravures. Cette source est utilisée pour contrôler à la fois la vitesse de gravure et la profondeur du processus de gravure. En outre, TEL TE 5000 S offre une variété de fonctionnalités telles que les capacités de cartographie et de profilage, l'optimisation des sources de réaction, ainsi que le contrôle de la chimie des gaz pour améliorer les résultats de gravure. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S est un système de gravure verticale à la pointe de la technologie qui offre une variété de capacités et de caractéristiques de processus. Avec son large éventail de recettes de gravure et de capacités de traitement, TEL TE 5000S est un outil polyvalent pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et offre des résultats de gravure de haute qualité.