Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #293819191 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC
ID: 293819191
Dry etchers.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC est un graveur/asher optimisé pour les expériences appliquées, les expériences analytiques et la production. Il dispose d'un grand étage de substrat qui permet le chargement et le déchargement des échantillons sans besoin d'outils supplémentaires, une conception très améliorée de son circuit de gaz et un système de vide très efficace. Ce graveur/asher a une vitesse contrôlée par ordinateur de 0 à 200Hz, permettant un contrôle facile et précis du processus de gravure du substrat. De plus, la tension de polarisation du substrat est réglable de 0 à -200V, ce qui permet de contrôler les profondeurs de gravure et l'uniformité. Il dispose d'une interface unique qui permet d'entrer facilement des paramètres, ce qui en fait un graveur convivial. Pour le contrôle des processus, TEL TE 580LC utilise une haute précision, détection in situ des points d'extrémité et une grande variété de paramètres de recette. Ces réglages sont facilement programmables, et la détection du point final permet des résultats cohérents. La répétabilité et la reproductibilité du procédé sont assurées par un excellent contrôle du profil des parois latérales et une gravure uniforme, tandis que son mode haute vitesse offre des performances de gravure rapides. Son plateau de substrat extra-large de 300mm x 400mm peut accueillir une grande variété d'échantillons, et son débitmètre numérique à gaz réglable en 5 étapes permet une introduction précise et fiable du gaz. TOKYO ELECTRON TE 580LC est équipé d'une chambre en acier inoxydable résistant aux produits chimiques pour une résistance à la corrosion et un entretien facile. Cet etcher/asher dispose également d'un générateur RF à double fréquence pour permettre une plus grande sélection de puissance disponible avec sa plage de puissance variable jusqu'à 500W. Enfin, il est équipé d'un système de nettoyage in situ pour prévenir la contamination des particules pendant le traitement, assurant ainsi que le processus de gravure restera propre et stable. TE 580LC est conçu pour offrir aux utilisateurs des performances de gravure optimales pour une grande variété de substrats. Ce graveur/asher présente de nombreuses caractéristiques de performance telles que la détection précise du point d'extrémité, la vitesse de traitement réglable et les débits de gaz réglables qui le rendent idéal pour les expériences et la production. La taille du substrat extra-large permet de traiter une variété d'échantillons, tandis que sa chambre en acier inoxydable résistant aux produits chimiques assure des performances fiables dans une grande variété de climats.
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