Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091959 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC est un graveur/asher plasma de haute précision qui peut être utilisé dans une grande variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. La machine utilise du plasma pour graver ou asher des motifs dans un substrat semi-conducteur. Sa technologie de pointe permet un débit élevé et des taux de défauts faibles, ainsi qu'une meilleure uniformité du film et une répétabilité substrat-substrat. La machine a une vitesse élevée allant jusqu'à 300mm/s ce qui garantit que le processus de gravure ou asher est terminé rapidement, et le haut débit maximise la productivité. La construction rigide et le système de contrôle moteur avancé assurent une gravure précise, car la machine n'a aucune vibration même à grande vitesse. Sa configuration verticale de verrouillage de charge vers le haut assure un chargement et un déchargement faciles des échantillons. De plus, des retards de transfert minimes dus à une grande précision de masse et à un contrôle de la température sont possibles. TEL TE 580LC comporte une chambre à pression variable capable de former un plasma de qualité pour les procédés de gravure ou de cueillette. Cela permet à la machine de fonctionner avec un large éventail d'etchants tels que des produits chimiques contenant du fluor, des acides chlorhydriques de qualité semi-conducteur et des acides à base de soufre. Il comporte également des supports de substrat entièrement usinés en titane, permettant un procédé de gravure très uniforme. Pour la commodité de l'utilisateur, la machine a également une conception ergonomique, qui comprend un moniteur LCD incliné vers l'utilisateur, et une interface utilisateur conviviale (interface utilisateur graphique) avec des paramètres de processus personnalisés et une grande mémoire pour le stockage des recettes. Pour assurer la sécurité, TOKYO ELECTRON TE 580LC dispose d'un système intégré unique de détection des fuites qui détecte et alerte automatiquement les risques potentiels de fuite de liquide corrosif ainsi que d'un protocole de sécurité programmable très efficace. Dans l'ensemble, TE 580LC est un graveur/asher haut de gamme avec une gamme de fonctionnalités conçues pour fournir des processus hautement fiables, reproductibles et rentables. Sa technologie de pointe permet une gravure ou un cendrage efficace et précis avec des délais de transfert minimes en raison d'une grande précision de masse et de températures contrôlées. Des caractéristiques supplémentaires telles que la chambre à pression variable et les supports de substrat usinés en titane garantissent la meilleure qualité de gravure. Sa conception ergonomique, son interface graphique conviviale et ses protocoles de sécurité améliorent la commodité de l'utilisateur et assurent la sécurité lors du traitement.