Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964 à vendre en France
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ID: 9091964
Taille de la plaquette: 6
Style Vintage: 1989
Oxide etcher, 6"
Chamber
1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC est un graveur/asher à haut débit de haute précision conçu pour diverses applications dans l'industrie des semi-conducteurs et des circuits intégrés. L'équipement est basé sur un système autonome à haut rendement qui intègre une source de plasma, une chambre de traitement, une pompe à vide, un contrôleur et un logiciel. Cette combinaison offre aux utilisateurs un haut degré de précision et de contrôle des processus. TEL TE 580LC est capable de traiter des caractéristiques jusqu'à 10 μ m dans des applications de gravure linéaire. L'unité est équipée d'un scanner à réseau linéaire multi-fentes pour assurer une exposition uniforme de la surface de la plaquette et un contrôle précis du profil de gravure/asher. La chambre a une conception améliorée de la chambre de processus qui permet un meilleur débit et un meilleur contrôle du processus. TOKYO ELECTRON TE 580LC dispose d'une large gamme de fonctions de contrôle de processus telles que le contrôle de la température pour une gravure/cueillette cohérente, le contrôle de la spectrométrie de masse en temps réel et le contrôle de pression précis. Les technologies avancées de contrôle des processus garantissent des résultats de haute qualité et une répétabilité accrue des processus. TE 580LC dispose également d'une large gamme de dispositifs de sécurité, tels que la soupape de sécurité haute pression, le verrouillage de l'obturateur et le démarrage à distance. La machine dispose d'un collecteur d'échappement intégré qui permet une utilisation efficace et sûre des gaz et aide à maintenir un environnement de travail sûr. L'outil dispose également d'un atout de refroidissement robuste et redondant avec de multiples ventilateurs et dissipateurs de chaleur pour maintenir la température de fonctionnement stable et pour éviter la surchauffe et maintenir les performances du modèle à long terme. TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC dispose d'une interface graphique facile à utiliser, et des recettes automatisées et des configurations de processus sont disponibles pour les processus courants. L'équipement est également facile à entretenir, avec un entretien préventif régulièrement programmé qui assure le bon fonctionnement. Dans l'ensemble, TEL TE 580LC est un système de graveur/asher fiable et puissant qui offre une grande précision et répétabilité pour une variété d'applications de gravure/ashing. L'unité est robuste et facile à utiliser, et peut fournir d'excellentes performances et des résultats cohérents.
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