Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC est un outil de procédé de graveur/asher avancé pour la finition ultra fine et la finition de surface lisse. Ce graveur/asher fournit un débit élevé avec un excellent contrôle de la contamination des particules, et offre une uniformité supérieure sur les plaquettes. Ce graveur/ascher avancé dispose d'une cassette de chargement et de déchargement. Ce système peut être chargé avec jusqu'à 8 cassettes, permettant une téléportation plus efficace des plaquettes. Le cendrier/graveur TEL TE 580LC avancé présente également une conception d'étage améliorée qui réduit les risques de contretemps de la plaquette et les dommages potentiels à la plaquette. Une fois les plaquettes chargées, TOKYO ELECTRON TE 580LC etcher/asher utilise une chambre de processus de verrouillage de charge. Cette chambre de procédé est équipée d'un ou deux fours de sublimation et d'un biais de substrat. Cette combinaison de technologies permet un meilleur contrôle des processus, un retournement plus rapide des plaquettes et une meilleure définition des bords. L'etcher/asher dispose également de capacités de contrôle de gravure avancées. Ce contrôle de gravure avancé permet à l'utilisateur de faire varier le taux de gravure via un champ magnétique automatisé. Ce taux de gravure peut être ajusté en fonction d'exigences spécifiques. En outre, ce graveur/asher avancé dispose d'un système de stockage d'énergie de haute capacité pour améliorer l'homogénéité des gravures et le contrôle précis. L'uniformité de gravure améliorée permet une meilleure répétabilité du procédé et des rendements plus élevés. TE 580LC présente également un procédé à haute température avec une température maximale de 400 ° C Cette fonctionnalité permet d'obtenir des performances de profil supérieures et d'assurer une qualité de produit élevée. Il aide également à empêcher les dépassements de gaz, qui a été un problème commun qui réduit le débit. De plus, ce graveur/asher avancé comprend une détection avancée des rayonnements neutroniques pour le contrôle de la contamination. Cette fonction permet de s'assurer que tous les contaminants indésirables sont détectés et rapidement éliminés. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC etcher/asher est un outil de procédé très avancé pour le tissage ultra fin et la finition de surface lisse. Il fournit un excellent débit et une uniformité supérieure sur les plaquettes, et est en mesure d'obtenir des performances de profil supérieures et la répétabilité du processus.