Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109092 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC (TEL TE 580LC) est un graveur/asher avancé utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON TE 580LC est un équipement de traitement entièrement automatisé et haut de gamme conçu pour offrir une précision et une répétabilité supérieures pour graver et aspirer les dépôts délicats de métal et de silicium polycristallin sur les plaquettes. Le système utilise un plasma inductif couplé Ar/O2 pour charger les ions et déposer des particules à la surface de la plaquette. Le plasma est généré dans un environnement contrôlé à l'aide d'un PIC haute fréquence (plasma inductif couplé) avec un contrôle précis de l'énergie ionique. Le signal de haute énergie et de faible bruit de l'ICP garantit les propriétés souhaitées de la surface gravée/cendrée. TE 580LC offre une rapidité et une précision de processus inégalées. La puissance ICP à fréquence variable est utilisée pour augmenter la vitesse de gravure et améliorer l'uniformité de surface de la gravure. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC peut être configuré avec un serrage électrostatique pour la prévention du bâton de plaquette, tandis que la synchronisation des virages permet une uniformité de processus sur plusieurs plaquettes. L'unité a une faible empreinte, ce qui la rend idéale pour une utilisation dans des espaces de laboratoire serrés. Son interface conviviale et ses processus automatisés permettent un traitement efficace et rapide des plaquettes. La machine comprend une chambre à vide avec un environnement basse pression, lui permettant de fonctionner sans dégazage ou lixiviation. Enfin, TEL TE 580LC est entièrement compatible avec une large gamme de tailles de plaquettes, permettant aux clients de personnaliser l'outil pour répondre à leurs besoins de traitement. De plus, les paramètres du procédé peuvent être ajustés pour optimiser la gravure et la cendre sur différents matériaux de plaquettes. En résumé, TOKYO ELECTRON TE 580LC est l'atout idéal pour la gravure et l'ashing pour la production de dépôts de métaux délicats et de silicium polycristallin sur plaquettes. Ses performances avancées, sa conception compacte et sa convivialité font de TE 580LC le choix optimal pour la gravure et l'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs.