Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #293667490 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 est un graveur/asher très efficace utilisé pour des applications avancées de traitement de substrat. En raison de sa capacité à mélanger plusieurs gaz pour une température basse, une sélectivité élevée et une gravure peu endommagée, TEL TE 7400 est idéal pour une grande variété de procédés avancés pour le silicium, l'arséniure de gallium, le carbone et les substrats de quartz. TOKYO ELECTRON TE 7400 offre un contrôle de processus avancé avec plusieurs vannes de contrôle de gaz et de dimensions (DCV) pour des temps de gravure et un contrôle de processus précis. Plusieurs sources de gaz réactifs peuvent être raccordées à TE 7400 pour obtenir des dommages ultra-faibles Processus Ashing. Les paramètres de délivrance et de traitement du gaz peuvent être réglés avec précision à l'aide d'une mémoire paramétrique répétable. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 a un générateur de plasma hors axe, haute résolution, qui produit du plasma de haute qualité avec une vitesse de gravure ciblée et un faible niveau de dommages de fond. Le générateur hors axe comporte une chambre de dépôt intégrée permettant une protection contre les contaminations latérales des plaquettes. En outre, le générateur de plasma dispose de dispositifs de refroidissement et de sécurité qui garantissent des résultats de gravure de haute qualité et dans un environnement sûr. TEL TE 7400 dispose d'un équipement de contrôle thermique multi-zones avec module canal en quartz, permettant aux utilisateurs de contrôler avec précision la température du gaz de -20 ° C à 250 ° C Ce système de contrôle thermique a amélioré l'uniformité des procédés et la flexibilité supplémentaire offerte par le contrôle des gaz de procédé permet une utilisation efficace des gaz de gravure. TOKYO ELECTRON TE 7400 a une variété de fonctions de surveillance et de contrôle de processus telles que la surveillance à distance, l'unité de profilage de plasma, et la machine d'analyse d'image la plus avancée pour un meilleur débit et la précision, ainsi que la capacité de vérifier les résultats critiques du processus. En outre, TE 7400 offre une large gamme de modules de contrôle logiciel, qui peuvent être interfacés avec des systèmes externes tels que les systèmes de contrôle de processus pour étendre encore ses capacités. Au total, TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400 est un outil de gravure et d'ashing à la pointe de la technologie qui offre des capacités de traitement de substrat flexibles avec des fonctions de contrôle de processus avancées. Il est adapté à une variété d'applications avancées de traitement de substrat.