Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156 à vendre en France

ID: 9198156
Oxide etcher, 6" Prcess: RIE(2).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500 est un type d'équipement de graveur et asher conçu pour créer des procédés de polissage chimico-mécanique (CMP) utilisés dans une variété d'applications industrielles. Ce système offre un démontage chimique-mécanique précis des matériaux, un polissage des plaquettes au niveau du sous-1 angstrom et des configurations de chambres multiples pour un débit de traitement optimal. Il est également compatible avec une variété de configurations de modules expérimentaux pour une utilisation dans la recherche et le développement de pointe. TEL TE 7500 dispose de deux types de processus, le « ePolish » et le mode « etch/Ash ». Dans le mode ePolish, le polissage isotrope et segmenté en surface est assuré par l'utilisation de la technologie CMP, offrant un contrôle précis des processus et une précision supérieure de polissage des plaquettes. Pour le mode gravure/cendres, TOKYO ELECTRON TE 7500 dispose d'une architecture modulaire multi-chambres qui permet un traitement optimisé pour les recettes gravure/cendres, avec interface de plaquette efficace pour la précision de transfert du substrat. Le TE 7500 utilise une conception de moteur numérique sans broche qui permet une efficacité maximale du circuit de processus, permettant aux utilisateurs d'atteindre des débits plus élevés. Il dispose également d'Intelligent Oasis Control Software qui surveille et ajuste l'environnement liquide pour les processus standard de polissage des plaquettes et de gravure/cueillette. Cela permet à l'unité de maintenir automatiquement la stabilité du processus pour une reproductibilité et un contrôle de qualité accrus. TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500 dispose également d'une machine de dépôt d'oxyde/métallisation in situ qui permet de préparer instantanément les plaquettes pour le polissage, la gravure ou le cendrage. De plus, TEL TE 7500 dispose également d'un logiciel intelligent de contrôle des recettes qui fournit une optimisation en temps réel des paramètres du processus pendant le processus CMP, en utilisant une base de données de recettes éprouvées stockées dans l'outil in-situ Oxyde/Dépôt de métallisation pour garantir une longueur de cycle et une qualité de processus optimales. Un outil de développement de recettes open source est également disponible pour tester et développer de nouveaux processus. TOKYO ELECTRON TE 7500 est un atout puissant et fiable de graveur et asher offrant une précision et un débit de processus supérieurs. Ses différentes caractéristiques en font un choix idéal pour de nombreuses applications industrielles, telles que l'emballage au niveau des plaquettes, le CMP diélectrique avancé ou la fabrication de dispositifs magnétorésistifs géants. Ce modèle est une solution idéale pour contrôler les coûts des processus, un élément essentiel du succès des opérations commerciales.
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