Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8400 #9051322 à vendre en France
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ID: 9051322
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1992
Oxide etcher, 8", 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400 est un graveur/asher conçu pour façonner et traiter avec précision les semi-conducteurs et autres substrats. TEL TE 8400 est un équipement de gravure humide capable de graver des matrices, des diodes et d'autres circuits intégrés numériques. Le système est équipé d'une unité de manutention sans contact, de plaquettes à plaquettes et d'une machine de distribution plasma/produit chimique à 7 faces pour des procédés de traitement précis. TOKYO ELECTRON TE 8400 supporte une grande variété de procédés, y compris la gravure, la photolithographie, la résistance au stripage et le dépôt métallique. L'outil utilise un gaz source ionisé, tel que le chlore ou le fluor, pour produire un plasma précis à graver dans la plaquette. Le gaz est combiné avec un signal radiofréquence (RF) pour générer un plasma qui peut graver ou déposer du matériau supplémentaire sur la surface de la plaquette. En outre, TE 8400 utilise une station chimique pour renforcer la puissance de gravure et réduire le temps de processus de gravure. L'actif est configuré avec des fonctionnalités haut de gamme, telles que le revêtement anti-reflet d'oxyde (AR), le nettoyage des tunnels, la dérivation d'espaceur, et l'optimisation de la sélectivité de gravure. Le revêtement AR réduit la réflectivité de la surface de la plaquette pour assurer des micro-motifs précis. Le nettoyage des tunnels réduit les sous-produits des processus de gravure en éliminant les contaminants indésirables qui se développent vers le point final de la gravure. Le contournement de l'espaceur élimine le besoin d'espaceurs de masque dur classiques et permet aux utilisateurs de modéliser directement les caractéristiques de gravure. Enfin, l'optimisation de la sélectivité des gravures aide à améliorer la répétabilité des processus et réduit la sensibilité aux variations des procédés. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8400 est équipé de dispositifs de sécurité avancés, y compris des autodiagnostics, des capteurs, des alarmes et des verrous de sécurité. La fonction autodiagnostic surveille la santé et les performances du modèle, assurant un fonctionnement optimal de la machine. Les capteurs surveillent les conditions de processus externes pour garantir des processus de gravure précis. L'équipement d'alarme alerte les opérateurs si des conditions dangereuses sont détectées. Enfin, le système de verrouillage de sécurité garantit que seul le personnel autorisé peut accéder à l'unité. Dans l'ensemble, TEL TE 8400 est un graveur/asher sophistiqué bien adapté pour les produits semi-conducteurs et autres produits de substrat exigeants. L'ingénierie et les caractéristiques avancées de la machine offrent aux utilisateurs des processus de gravure précis et reproductibles et améliorent la sûreté et la sécurité.
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