Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293637515 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 est un graveur ou asher conçu pour la fabrication de microélectroniques. Cet équipement utilise 49 polarisations d'impulsions de source plasma parallèle pour effectuer une gravure précise de structures microélectroniques avancées. Il offre jusqu'à 100nm de précision de gravure et de débit jusqu'à 800 plaquettes par heure. TEL TE 8401 dispose d'une conception en ligne alignée horizontalement, qui permet de déplacer efficacement les pièces et de remplacer différents modules de traitement en fonction des besoins du processus. Il a une faible empreinte, mais sa technologie avancée de gravure par plasma pulsé a une excellente uniformité et précision, offrant un contrôle précis sur les taux de gravure, les profils et les mesures de dimensions critiques. Le système est optimisé pour la gravure de matériaux ultra-minces comme l'aluminium, le cuivre et les matériaux diélectriques Low-K avec une haute sélectivité et un profil bas. L'uniformité optimisée de TOKYO ELECTRON TE-8401 permet une meilleure intégration de la couche diélectrique mince dans les dispositifs, avec une plus grande lithographie et la compatibilité des processus de gravure. D'autres caractéristiques clés de TE-8401 comprennent un rapport d'aspect élevé pour une densité de caractéristiques accrue, une fenêtre de processus serrée pour un meilleur contrôle du processus et un haut degré d'efficacité de la consommation de matériaux. Il prend également en charge l'automatisation des processus de haut niveau avec son portail distant et sa capacité de surveillance des processus. L'unité TEL TE-8401 supporte également la technologie PEP (Pulsed Etch Process) avancée, capable de traiter le nivellement des fils en 3D, des conceptions plus complexes et des couches diélectriques plus minces tout en conservant un excellent contrôle du profil et de la vitesse de gravure. De plus, le contrôle automatisé de la recette grâce à sa précision et à sa précision couche par couche permet de réduire le temps et le coût de fabrication. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE 8401 graveur ou asher est une machine avancée conçue pour la gravure ultra-précise de structures microélectroniques avancées pour la production à moyenne et grande échelle. Sa vitesse de traitement élevée, la technologie Pulsed Plasma Etch et l'automatisation des procédés en font une solution idéale pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs toujours plus complexes.