Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #293758823 à vendre en France
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ID: 293758823
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Dry etcher, 8"
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 est un équipement de gravure chimiquement amélioré qui utilise une série de processus intelligents et automatisés pour graver des géométries de circuits complexes dans des matériaux semi-conducteurs. Il dispose de technologies brevetées de processus de gravure qui assurent des résultats de gravure précis et élimine le besoin de conception manuelle. Le système dispose d'une chambre à vide de chargement supérieur qui abrite deux sous-plateaux auto-alignés, l'un qui supporte le substrat et l'autre qui supporte le masque ou le motif. Les plaques de serrage auto-alignées assurent que le matériau reste bien collé pendant le processus de gravure et peut être ajusté par paliers de 0,01 mm pour conserver la précision des résultats. Le substrat est sécurisé à l'aide de broches électrostatiques dans un mandrin électrostatique ou d'autres méthodes similaires pour un positionnement facile et précis. Il existe deux sources de plasma de gravure disponibles avec TEL TE 8401, un générateur RF de 410 MHz et un résonateur de 2,45 GHz, tous deux basés sur le principe du cyclotron. Le temps de cycle pour la gravure d'un seul matériau est réglable, ce qui permet une gravure à basse température pour un traitement à haute résolution ou une gravure à haute température pour un débit plus rapide. L'unité dispose d'une machine de contrôle plasma avancée qui comprend une base de données de conception embarquée et un outil de diagnostic avancé, qui comprend des mesures de taux d'ionisation et une estimation du flux ionique, pour assurer un traitement précis. TOKYO ELECTRON TE-8401 comprend également une surveillance des performances thermiques et une surveillance de la santé des actifs, avec des indicateurs et des alertes assurant des performances optimales. En outre, le modèle a intégré des caractéristiques de sécurité qui empêchent les gaz combustibles, explosifs et nocifs d'entrer dans la chambre de gravure, ainsi que la température et le contrôle de la pression qui maintient une température et une pression de fonctionnement optimales. Globalement, TE-8401 est un équipement de gravure fiable, puissant et précis, idéal pour créer des circuits de précision haute résolution pour un large éventail d'applications. Ses technologies brevetées de gravure, son contrôle avancé du plasma et ses caractéristiques de sécurité en font un outil précieux pour la production de circuits complexes robustes et en expansion.
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