Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9161274 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 est une approche de gravure plasma utilisée pour des procédures à semi-conducteurs multiples dans la fabrication de microélectroniques. Le graveur est un outil avancé conçu pour la gravure sèche de précision pour des applications difficiles sur les matériaux composés. Son interface de contrôle automatisé et son équipement de contrôle de processus facile à utiliser permettent des processus de gravure fiables. La technologie d'alimentation autonome unique de TEL TE 8401 lui permet de fournir une gravure à haute vitesse avec un débit plus élevé et une excellente répétabilité. L'etcher est équipé d'un loadlock haute vitesse avancé pour garder un contrôle efficace du processus, ce qui garantit une usure minimale. L'unité de manipulation des plaquettes de transport à grande vitesse est également conçue pour un mouvement rapide et lisse des plaquettes entre le loadlock et la chambre de traitement. La source de plasma avancée TOKYO ELECTRON TE-8401 permet un contrôle indépendant de la profondeur de gravure, du profil, de la vitesse d'élimination du matériau et des minuties de fonctionnalités pour éviter la surgravure. Il a des capacités de gravure à large portée et peut graver divers matériaux diélectriques et en silicium polycristallin, couches de cuivre ou isolants pour une vaste gamme de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil performant peut fournir des surfaces de gravure extrêmement propres et des conceptions ultra-haute résolution à grande vitesse et avec des sous-produits de processus minimes. TOKYO ELECTRON TE 8401 comprend un système de contrôle intégré et un protocole de communication pour gérer jusqu'à seize processus de gravure distincts. Il dispose d'une capacité de gravure multi-profils où la profondeur et la durée de gravure peuvent être effectuées avec la plus grande précision disponible et sans intervention manuelle. Il dispose également d'une unité de diagnostic intégrée pour assurer des performances de gravure cohérentes et surveiller tout défaut matériel potentiel, minimisant les temps d'arrêt. TEL TE-8401 etcher dispose d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont un dispositif d'entretoisement de pression pour empêcher l'accumulation de pression pendant le fonctionnement, et un moniteur de débit de gaz inerte pour s'assurer que la chambre est au moins légèrement sous pression pour bloquer rapidement toute contamination liée au processus. La machine de commande de l'etcher assure également que l'outil ne démarre pas tant que l'équipement de refroidissement approprié n'est pas en place et prêt.