Occasion TEL / TOKYO ELECTRON TE 8401 #9398263 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 est un graveur/asher conçu pour des applications de gravure et de cendrage de précision. Il s'agit d'un graveur/asher à plasma par lots avec un piédestal chauffé qui permet la gravure et l'ashing de caractéristiques fines avec un faible budget thermique. Il présente des niveaux de puissance de polarisation élevés pour contrôler avec précision les taux de gravure et de cendre, une grande uniformité et une large fenêtre de gravure et de cendre. TEL TE 8401 a quatre modes de fonctionnement : gravure, cueillette, pulvérisation et nettoyage. Il est équipé d'un équipement quadri-filtre de type sec comprenant quatre types de filtres, à savoir la chambre de gravure, la chambre de réaction, les chambres de refroidissement et la chambre de purge. En mode gravure, TOKYO ELECTRON TE-8401 peut être utilisé pour la gravure de caractéristiques fines avec sa puissance maximale élevée de 600 W. Avec sa fenêtre de gravure/cueillette avancée, large plage de température de chambre, et une grande uniformité, TE-8401 peut être utilisé pour la gravure/cueillette haute résolution de petites caractéristiques avec des performances améliorées. Il permet la formation de caractéristiques également espacées sur la surface de la plaquette avec ses propriétés de gravure/cendrage uniformes. TOKYO ELECTRON TE 8401 dispose également d'un système de contrôle actif pour contrôler la température et la pression de l'étage pour des paramètres plasmatiques uniformes. En mode ashing, TE 8401 est utilisé pour éliminer les couches indésirables en utilisant des niveaux de puissance de polarisation élevés. Sa répétabilité élevée et son budget thermique minimal le rendent idéal pour éliminer les polymères et les films métalliques minces. L'unité de gestion active de gaz TEL TE-8401 maintient la pression de la chambre avec de faibles pressions de gravure et des taux de cendre élevés sans réduire la sélectivité des gravures diélectriques grâce à sa commande de puissance de polarisation élevée. De plus, le mode de fonctionnement avancé TEL/TOKYO ELECTRON TE-8401 permet une plus grande uniformité de débit et de température. En mode pulvérisation, TEL/TOKYO ELECTRON TE 8401 peut fournir d'excellents taux de dépôt avec sa grande capacité de dépôt. Avec sa puissance de polarisation élevée et son excellente uniformité, il peut être utilisé pour le dépôt de couches minces et le nettoyage des pulvérisateurs. Le dispositif est également équipé d'une chambre de pulvérisation classique de type cavité pour une capacité de pulvérisation spécifique à l'application. Enfin, le mode de nettoyage intégré TEL TE 8401 permet d'éliminer les résidus avec un budget thermique minimal. Ceci réduit les risques de contamination et améliore l'uniformité des surfaces gravées pour diverses applications. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON TE-8401 est un graveur/asher avancé conçu pour une gravure optimale et un cendrage de caractéristiques fines. Il présente des niveaux de puissance de polarisation élevés, une grande uniformité, une large fenêtre de gravure/cendrage, une machine de gestion active du gaz, et quatre modes de fonctionnement. Ce dispositif haute performance est un outil de production inestimable pour des applications de gravure/ashing de précision.